Granit er et hårdt og slidstærkt materiale, som ofte bruges i byggebranchen.Det har dog også egenskaber, der gør det nyttigt i halvlederfremstilling, især ved fremstilling og behandling af integrerede kredsløb.Granitkomponenter, såsom granitborde og granitblokke, er meget udbredt på grund af deres stabilitet, fladhed og lave termiske udvidelseskoefficient.
En af de primære anvendelser af granitkomponenter i halvlederfremstilling er i fremstillingsprocessen.Siliciumwafers, de grundlæggende byggesten i integrerede kredsløb, skal fremstilles med høj præcision og nøjagtighed.Enhver forvrængning eller bevægelse under processen kan føre til defekter, der kan påvirke kvaliteten og funktionaliteten af de integrerede kredsløb.Granitborde giver med deres høje stabilitet og fladhed en god platform for waferbehandlingsudstyret.De er også modstandsdygtige over for termisk ekspansion og sammentrækning forårsaget af den opvarmning og afkøling, der kræves i processen.
Granitblokke bruges også i halvlederbehandling for deres termiske stabilitet.Under ætsnings- eller aflejringsprocesser bruges varme gasser eller plasmaer til at modificere overfladen af siliciumwaferen.Temperaturen på waferen skal kontrolleres for at sikre, at processen udføres effektivt og præcist.Granitblokke hjælper med deres lave termiske udvidelseskoefficient til at stabilisere waferens temperatur, hvilket reducerer risikoen for temperaturudsving, der kan påvirke kvaliteten af det forarbejdede materiale.
Bortset fra fremstillings- og forarbejdningsprocesserne bruges granitkomponenter også i metrologi- og inspektionsstadierne af halvlederfremstilling.Der foretages metrologimålinger for at sikre, at størrelsen, formen og placeringen af strukturerne på waferen er inden for de påkrævede specifikationer.Granitblokke bruges som referencestandarder i disse målinger på grund af deres dimensionsstabilitet og nøjagtighed.De bruges også i inspektionsfaser, hvor kvaliteten af de integrerede kredsløb kontrolleres under høj forstørrelse.
Samlet set er brugen af granitkomponenter i halvlederfremstilling steget i de seneste år.Behovet for høj præcision, nøjagtighed og stabilitet i fremstilling og behandling af integrerede kredsløb har drevet vedtagelsen af disse materialer af halvlederproducenter.Granits unikke egenskaber, såsom dens hårdhed, stabilitet og lave termiske udvidelseskoefficient, gør den til et fremragende valg til brug i disse processer.Med den fortsatte udvikling og forbedring af halvlederteknologi forventes brugen af granitkomponenter at vokse yderligere i fremtiden.
Posttid: Dec-05-2023