Materiale – Keramik

♦Aluminiumoxid(Al2O3)

De præcisionskeramiske dele produceret af ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) kan være lavet af højrente keramiske råmaterialer, 92~97% aluminiumoxid, 99,5% aluminiumoxid, >99,9% aluminiumoxid og CIP kold isostatisk presning.Højtemperatursintring og præcisionsbearbejdning, dimensionsnøjagtighed på ± 0,001 mm, glathed op til Ra0,1, brugstemperatur op til 1600 grader.Forskellige farver af keramik kan fremstilles i henhold til kundernes krav, såsom: sort, hvid, beige, mørkerød osv. De præcision keramiske dele produceret af vores virksomhed er modstandsdygtige over for høj temperatur, korrosion, slid og isolering, og kan brugt i lang tid i miljø med høj temperatur, vakuum og ætsende gas.

Udbredt i en række forskellige halvlederproduktionsudstyr: Rammer (keramisk beslag), substrat (base), arm/bro (manipulator), mekaniske komponenter og keramiske luftlejer.

AL2O3

Anvendelse af aluminiumoxidkeramik med høj renhed:
1. Anvendes på halvlederudstyr: keramisk vakuumpatron, skæreskive, renseskive, keramisk CHUCK.
2. Wafer-overførselsdele: wafer-håndteringspatroner, wafer-skæreskiver, wafer-rengøringsskiver, wafer-optiske inspektionssugekopper.
3. LED / LCD-fladskærmsindustri: keramisk dyse, keramisk slibeskive, LIFT PIN, PIN-skinne.
4. Optisk kommunikation, solenergi industri: keramiske rør, keramiske stænger, printkort screen print keramiske skrabere.
5. Varmebestandige og elektrisk isolerende dele: keramiske lejer.
På nuværende tidspunkt kan aluminiumoxidkeramik opdeles i høj renhed og almindelig keramik.Serien af ​​højrent aluminiumoxidkeramik refererer til det keramiske materiale, der indeholder mere end 99,9% Al2O3.På grund af sintringstemperaturen på op til 1650 - 1990°C og dens transmissionsbølgelængde på 1 ~ 6μm, forarbejdes den normalt til smeltet glas i stedet for platindigelen: som kan bruges som natriumrør på grund af dets lystransmittans og korrosionsbestandighed til alkalimetal.I elektronikindustrien kan det bruges som højfrekvent isoleringsmateriale til IC-substrater.I henhold til forskellige indhold af aluminiumoxid kan den almindelige aluminiumoxidkeramiske serie opdeles i 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik og 85 keramik.Nogle gange er keramikken med 80% eller 75% aluminiumoxid også klassificeret som almindelige aluminiumoxidkeramiske serier.Blandt dem bruges 99 aluminiumoxid keramisk materiale til at producere højtemperaturdigel, brandsikker ovnrør og specielle slidbestandige materialer, såsom keramiske lejer, keramiske tætninger og ventilplader.95 aluminium keramik bruges hovedsageligt som korrosionsbestandig slidbestandig del.85 keramik er ofte blandet i nogle egenskaber, hvorved den elektriske ydeevne og mekanisk styrke forbedres.Det kan bruge molybdæn, niobium, tantal og andre metaltætninger, og nogle bruges som elektriske vakuumenheder.

 

Kvalitetsvare (repræsentativ værdi) produktnavn AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Kemisk sammensætning Lav-natrium let sintringsprodukt H2O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
LOl % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂03 % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO2 % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na20 % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al203 % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Mellem partikeldiameter (MT-3300, laseranalysemetode) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Krystalstørrelse μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Dannende tæthed** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2,35 2,57 2,56
Sintringstæthed** g/cm³ 3,88 3,93 3,94 3,93 3,88 3,77 3.22
Krympende rate af sintringslinje** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO er ikke inkluderet i beregningen af ​​renheden af ​​Al2O3.
* Intet afskalningspulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), sintringstemperatur er 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Tilføj 0,05 ~ 0,1% MgO, sintringsevnen er fremragende, så den er anvendelig til aluminiumoxidkeramik med en renhed på mere end 99%.
AES-22S: Karakteriseret ved høj formningsdensitet og lav krympningshastighed af sintringslinjen, den er anvendelig til glideformstøbning og andre produkter i stor skala med den nødvendige dimensionsnøjagtighed.
AES-23 / AES-31-03: Den har en højere formningsdensitet, tixotropi og en lavere viskositet end AES-22S.førstnævnte bruges til keramik, mens sidstnævnte bruges som vandreduktion til brandsikringsmaterialer, hvilket vinder popularitet.

♦ Siliciumcarbid (SiC) egenskaber

Generelle kendetegn Renhed af hovedkomponenter (vægt%) 97
Farve Sort
Massefylde (g/cm³) 3.1
Vandabsorption (%) 0
Mekaniske egenskaber Bøjningsstyrke (MPa) 400
Ung modul (GPa) 400
Vickers hårdhed (GPa) 20
Termiske egenskaber Maksimal driftstemperatur (°C) 1600
Termisk udvidelseskoefficient RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Termisk ledningsevne (W/m x K) 130 110
Termisk stødmodstand ΔT (°C) 300
elektriske egenskaber Volumenresistivitet 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielektrisk konstant 10 GHz -
Dielektrisk tab (x 10-4) -
Q-faktor (x 104) -
Dielektrisk gennembrudsspænding (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Siliciumnitridkeramik

Materiale Enhed Si3N4
Sintringsmetode - Gastryksintret
Massefylde g/cm³ 3.22
Farve - Mørkegrå
Vandabsorptionshastighed % 0
Ung modul Gpa 290
Vickers hårdhed Gpa 18 - 20
Trykstyrke Mpa 2200
Bøjningsstyrke Mpa 650
Varmeledningsevne W/mK 25
Termisk stødmodstand Δ (°C) 450 - 650
Maksimal driftstemperatur °C 1200
Volumenresistivitet Ω·cm > 10 ^ 14
Dielektrisk konstant - 8.2
Dielektrisk styrke kV/mm 16