Granit er et hårdt og holdbart materiale, der ofte bruges i byggebranchen. Imidlertid har det også egenskaber, der gør det nyttigt i halvlederfremstilling, især til fremstilling og forarbejdning af integrerede kredsløb. Granitkomponenter, såsom granitborde og granitblokke, er vidt brugt til deres stabilitet, fladhed og lav termisk ekspansionskoefficient.
En af de primære anvendelser af granitkomponenter i halvlederfremstilling er i fabrikationsprocessen. Siliciumskiver, de grundlæggende byggesten til integrerede kredsløb, skal fremstilles med høj præcision og nøjagtighed. Enhver forvrængning eller bevægelse under processen kan føre til defekter, der kan påvirke kvaliteten og funktionaliteten af de integrerede kredsløb. Granitborde med deres høje stabilitet og fladhed giver en god platform til Wafer -behandlingsudstyr. De er også modstandsdygtige over for termisk ekspansion og sammentrækning forårsaget af den opvarmning og afkøling, der kræves i processen.
Granitblokke bruges også i halvlederforarbejdning til deres termiske stabilitet. Under ætsnings- eller deponeringsprocesser bruges varme gasser eller plasmaer til at modificere overfladen af siliciumskiven. Temperaturen på skiven skal kontrolleres for at sikre, at processen udføres effektivt og nøjagtigt. Granitblokke med deres lave termiske ekspansionskoefficient hjælper med at stabilisere temperaturen på skiven, hvilket reducerer risikoen for temperatursvingninger, der kan påvirke kvaliteten af det forarbejdede materiale.
Bortset fra fremstillings- og behandlingsprocesserne bruges også granitkomponenter i metrologi og inspektionsstadier for fremstilling af halvleder. Metrologimålinger foretages for at sikre, at størrelsen, form og placering af strukturer på skiven er inden for de krævede specifikationer. Granitblokke bruges som referencestandarder i disse målinger på grund af deres dimensionelle stabilitet og nøjagtighed. De bruges også i inspektionsstadier, hvor kvaliteten af de integrerede kredsløb kontrolleres under høj forstørrelse.
Generelt er brugen af granitkomponenter i fremstilling af halvleder steget i de senere år. Behovet for høj præcision, nøjagtighed og stabilitet i fremstilling og behandling af integrerede kredsløb har drevet vedtagelsen af disse materialer fra halvlederproducenter. De unikke egenskaber ved granit, såsom dens hårdhed, stabilitet og lav termisk ekspansionskoefficient, gør det til et fremragende valg til brug i disse processer. Med den fortsatte udvikling og forbedring af halvlederteknologi forventes brugen af granitkomponenter at vokse yderligere i fremtiden.
Posttid: DEC-05-2023