Granit er et hårdt og holdbart materiale, der ofte bruges i byggeindustrien. Det har dog også egenskaber, der gør det nyttigt i halvlederproduktion, især i fremstillingen og forarbejdningen af integrerede kredsløb. Granitkomponenter, såsom granitborde og granitblokke, anvendes i vid udstrækning på grund af deres stabilitet, fladhed og lave termiske udvidelseskoefficient.
En af de primære anvendelser af granitkomponenter i halvlederfremstilling er i fremstillingsprocessen. Siliciumwafere, de grundlæggende byggesten i integrerede kredsløb, skal fremstilles med høj præcision og nøjagtighed. Enhver forvrængning eller bevægelse under processen kan føre til defekter, der kan påvirke kvaliteten og funktionaliteten af de integrerede kredsløb. Granitborde, med deres høje stabilitet og fladhed, giver en god platform for waferbehandlingsudstyret. De er også modstandsdygtige over for termisk udvidelse og sammentrækning forårsaget af den opvarmning og afkøling, der kræves i processen.
Granitblokke bruges også i halvlederbearbejdning på grund af deres termiske stabilitet. Under ætsnings- eller aflejringsprocesser bruges varme gasser eller plasmaer til at modificere overfladen af siliciumwaferen. Waferens temperatur skal kontrolleres for at sikre, at processen udføres effektivt og præcist. Granitblokke, med deres lave termiske udvidelseskoefficient, hjælper med at stabilisere waferens temperatur, hvilket reducerer risikoen for temperaturudsving, der kan påvirke kvaliteten af det bearbejdede materiale.
Udover fremstillings- og forarbejdningsprocesserne anvendes granitkomponenter også i metrologi- og inspektionsfaserne i halvlederproduktionen. Metrologiske målinger foretages for at sikre, at størrelsen, formen og placeringen af strukturerne på waferen er inden for de krævede specifikationer. Granitblokke bruges som referencestandarder i disse målinger på grund af deres dimensionsstabilitet og nøjagtighed. De bruges også i inspektionsfaser, hvor kvaliteten af de integrerede kredsløb kontrolleres under høj forstørrelse.
Samlet set er brugen af granitkomponenter i halvlederfremstilling steget i de senere år. Behovet for høj præcision, nøjagtighed og stabilitet i fremstillingen og forarbejdningen af integrerede kredsløb har drevet halvlederproducenternes brug af disse materialer. Granits unikke egenskaber, såsom dens hårdhed, stabilitet og lave termiske udvidelseskoefficient, gør den til et fremragende valg til brug i disse processer. Med den fortsatte udvikling og forbedring af halvlederteknologi forventes brugen af granitkomponenter at vokse yderligere i fremtiden.
Opslagstidspunkt: 05. dec. 2023