Granit luftlejesystemer er meget udbredt iultrapræcisionbevægelsesplatforme til halvlederfremstilling, optisk justering og nanometerskala-metrologi.
Disse systemer eliminerer mekanisk kontakt ved at bruge en tynd trykluftfilm, hvilket opnår næsten friktionsfri bevægelse.
Princip for luftlejer
Luftlejer fungerer ved at indføre trykluft mellem to overflader, hvilket danner en 2-20 μm luftfilm.
Dette eliminerer:
- Mekanisk friktion
- Slid
- Stick-slip-adfærd
Systemet er afhængigt af fluidfilmdynamik og stabil laminar strømning.
Granitens rolle
Granit leverer:
- Strukturel stabilitet
- Termisk driftundertrykkelse
- Vibrationsdæmpning
Den fungerer som den mekaniske referencebase for bevægelsessystemet.
Systemkomponenter
- Granitbase
- Luftlejeklodser
- Luftforsyningssystem
- Præcisionsenkodere
- Bevægelseskontrolsystem
Ydeevneegenskaber
Typisk ydeevne omfatter:
- Submikron positioneringsnøjagtighed
- Høj retlinjethed over lange vandringer
- Nul mekanisk tilbageslag
Vigtige fejlkilder omfatter ustabilitet i lufttrykket, termisk drift og encoderfejl.
Applikationer
- Inspektion af halvlederwafere
- Litografiske systemer
- Optiske justeringsplatforme
- Avancerede målemaskiner
Ofte stillede spørgsmål
Slides luftlejer ud?
Ingen mekanisk kontakt eliminerer slid.
Hvorfor bruge granit?
For stabilitet og vibrationsdæmpning.
Hvad begrænser nøjagtigheden?
Luftstabilitet og termiske effekter.
Kan de bære tunge læs?
Ja, afhængigt af designet.
Opslagstidspunkt: 3. juli 2026