Ultrapræcisions granitbase til waferinspektion og metrologi

1. Overlegen materialevidenskab: ZHHIMG® sort granit

I modsætning til standardgranit eller, værre, marmor af lavere kvalitet, der anvendes af mindre samvittighedsfulde producenter, er ZHHIMG-baser udelukkende fremstillet af vores proprietære ZHHIMG® Black Granite.

● Enestående densitet: Vores materiale kan prale af en imponerende densitet på ≈ 3100 kg/m³, hvilket er bedre end mange konventionelle sorte granitter fra Europa og Amerika.

● Termisk stabilitet: Den høje densitet og minimale vandabsorption sikrer overlegen dimensionsstabilitet, hvilket drastisk reducerer virkningen af ​​termisk drift under kritiske inspektionscyklusser.

● Vibrationsdæmpning: Den naturlige mineralstruktur giver enestående intern dæmpning, hvilket er afgørende for at isolere følsom optik og sensorer fra eksterne vibrationer.

2. Uovertruffen produktions- og monteringskapacitet

Vores engagement i præcision er opsummeret i vores kerneværdi: "Præcisionsbranchen må ikke være for krævende."

● Mesterhåndværk: Vores baser håndslebes af mesterteknikere, mange med over 30 års erfaring, som kan opnå overfladeplanhed og parallelisme ned til nanometerniveau – præcision verificeret af Renishaw laserinterferometre og WYLER elektroniske niveauer.

● Kontrolleret miljø: Bearbejdning og slutmontering udføres i vores 10.000 m² temperatur- og fugtighedskontrollerede renrum (som simulerer strenge forhold på halvlederfabrikken). Dette anlæg har et 1000 mm tykt betonfundament og 2000 mm dybe antivibrationsgrave, hvilket sikrer et virkelig stabilt metrologimiljø.

3. Integreret præcisionsdesign (som vist på billedet)

Basen leveres typisk som en kompleks samling, der ofte omfatter:

● L-formede/portalstrukturer: Designet til at understøtte den lodrette bevægelse (Z-akse) af billedhoveder, hvilket sikrer ortogonalitet og geometrisk nøjagtighed.

● Præcisionsspor og -indsatser: Forbearbejdede overflader med gevindskårne stålindsatser og præcisionsdyvelhuller til montering af luftlejer, lineære motorer (XY-bord), visionssystemer og føringsskinner (THK, HIWIN, Rexroth).

● Tilpasning: Vi specialiserer os i storskalabearbejdning og kan levere monolitiske granitfundamenter med en længde på op til 20 m og en vægt på 100 tons, præcist skræddersyet til dit udstyrs behov.