♦Aluminiumoxid (Al2O3)
De præcisionskeramiske dele, der produceres af ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), kan fremstilles af keramiske råmaterialer med høj renhed, 92~97% aluminiumoxid, 99,5% aluminiumoxid, >99,9% aluminiumoxid og CIP-koldisostatisk presning. Højtemperatursintring og præcisionsbearbejdning, dimensionsnøjagtighed på ± 0,001 mm, glathed op til Ra0,1, brugstemperatur op til 1600 grader. Forskellige farver keramik kan fremstilles efter kundernes krav, såsom: sort, hvid, beige, mørkerød osv. De præcisionskeramiske dele, der produceres af vores virksomhed, er modstandsdygtige over for høj temperatur, korrosion, slid og isolering og kan bruges i lang tid i miljøer med høj temperatur, vakuum og korrosiv gas.
Udbredt anvendt i en række forskellige halvlederproduktionsudstyr: Rammer (keramisk beslag), substrat (base), arm/bro (manipulator), mekaniske komponenter og keramiske luftlejer.
Produktnavn | Høj renhed 99 aluminiumoxid keramisk firkantet rør / rør / stang | |||||
Indeks | Enhed | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Tæthed | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3,8 | 3,9 | |
Vandabsorption | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintret temperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Hårdhed | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Bøjningsstyrke (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Trykstyrke | kgf/cm² | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Langvarig arbejdstemperatur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks. arbejdstemperatur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumenresistivitet | 20℃ | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Anvendelse af aluminiumoxidkeramik med høj renhed:
1. Anvendes til halvlederudstyr: keramisk vakuumpatron, skæreskive, rengøringsskive, keramisk CHUCK.
2. Waferoverføringsdele: waferhåndteringsspændepatroner, waferskæreskiver, waferrengøringsskiver, sugekopper til optisk inspektion af wafer.
3. LED/LCD fladskærmsindustri: keramisk dyse, keramisk slibeskive, LIFT PIN, PIN-skinne.
4. Optisk kommunikation, solindustri: keramiske rør, keramiske stænger, keramiske skrabere til printplader og serigrafi.
5. Varmebestandige og elektrisk isolerende dele: keramiske lejer.
I øjeblikket kan aluminiumoxidkeramik opdeles i højrent og almindelig keramik. Højrent aluminiumoxidkeramikserien refererer til keramiske materialer, der indeholder mere end 99,9% Al₂O₃. På grund af sintringstemperaturen på op til 1650-1990°C og transmissionsbølgelængden på 1 ~ 6μm forarbejdes det normalt til smeltet glas i stedet for platindigel: som kan bruges som natriumrør på grund af dets lysgennemtrængelighed og korrosionsbestandighed over for alkalimetaller. I elektronikindustrien kan det bruges som højfrekvent isoleringsmateriale til IC-substrater. I henhold til forskellige indhold af aluminiumoxid kan den almindelige aluminiumoxidkeramikserie opdeles i 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik og 85 keramik. Nogle gange klassificeres keramik med 80% eller 75% aluminiumoxid også som almindelig aluminiumoxidkeramikserie. Blandt disse anvendes 99 aluminiumoxid keramisk materiale til fremstilling af højtemperaturdigler, brandsikre ovnrør og specielle slidstærke materialer, såsom keramiske lejer, keramiske tætninger og ventilplader. 95 aluminiumkeramik anvendes hovedsageligt som korrosionsbestandig slidstærk del. 85 keramik blandes ofte i visse egenskaber, hvorved den elektriske ydeevne og mekaniske styrke forbedres. Det kan bruge molybdæn, niobium, tantal og andre metaltætninger, og nogle bruges som elektriske vakuumanordninger.
Kvalitetsvare (repræsentativ værdi) | Produktnavn | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Kemisk sammensætning Lavnatrium Let sintringsprodukt | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0� | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0� | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Medium partikeldiameter (MT-3300, laseranalysemetode) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Krystalstørrelse | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Formningstæthed** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Sintringsdensitet** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Krympningshastighed for sintringslinje** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO er ikke inkluderet i beregningen af Al₂O₃s renhed.
* Intet skaleringspulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), sintringstemperatur er 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Tilsæt 0,05 ~ 0,1% MgO, sintringsevnen er fremragende, så den kan anvendes på aluminiumoxidkeramik med en renhed på mere end 99%.
AES-22S: Karakteriseret ved høj formningstæthed og lav krympehastighed i sintringslinjen, er den anvendelig til glideformstøbning og andre storskalaprodukter med den nødvendige dimensionsnøjagtighed.
AES-23 / AES-31-03: Den har en højere formningstæthed, thixotropi og en lavere viskositet end AES-22S. Førstnævnte bruges til keramik, mens sidstnævnte bruges som vandreducerer til brandsikre materialer og vinder popularitet.
♦Karakteristika for siliciumcarbid (SiC)
Generelle karakteristika | Renhed af hovedkomponenter (vægt%) | 97 | |
Farve | Sort | ||
Densitet (g/cm³) | 3.1 | ||
Vandabsorption (%) | 0 | ||
Mekaniske egenskaber | Bøjningsstyrke (MPa) | 400 | |
Ung modulus (GPa) | 400 | ||
Vickers-hårdhed (GPa) | 20 | ||
Termiske egenskaber | Maksimal driftstemperatur (°C) | 1600 | |
Termisk udvidelseskoefficient | RT~500°C | 3,9 | |
(1/°C x 10-6) | Stuetemperatur ~800°C | 4.3 | |
Varmeledningsevne (W/m x K) | 130 110 | ||
Termisk stødmodstand ΔT (°C) | 300 | ||
Elektriske egenskaber | Volumenresistivitet | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektrisk konstant | 10 GHz | - | |
Dielektrisk tab (x 10-4) | - | ||
Q-faktor (x 104) | - | ||
Dielektrisk gennemslagsspænding (KV/mm) | - |
♦Silicone nitrid keramik
Materiale | Enhed | Si₃N₄ |
Sintringsmetode | - | Gastryksintret |
Tæthed | g/cm³ | 3.22 |
Farve | - | Mørkegrå |
Vandabsorptionshastighed | % | 0 |
Ung modulus | GPA | 290 |
Vickers hårdhed | GPA | 18-20 |
Trykstyrke | Mpa | 2200 |
Bøjningsstyrke | Mpa | 650 |
Termisk ledningsevne | W/mK | 25 |
Termisk stødmodstand | Δ (°C) | 450 - 650 |
Maksimal driftstemperatur | °C | 1200 |
Volumenresistivitet | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrisk konstant | - | 8.2 |
Dielektrisk styrke | kV/mm | 16 |