♦Aluminiumoxid(Al2O3)
De præcisionskeramiske dele produceret af ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) kan være lavet af højrente keramiske råmaterialer, 92~97% aluminiumoxid, 99,5% aluminiumoxid, >99,9% aluminiumoxid og CIP kold isostatisk presning.Højtemperatursintring og præcisionsbearbejdning, dimensionsnøjagtighed på ± 0,001 mm, glathed op til Ra0,1, brugstemperatur op til 1600 grader.Forskellige farver af keramik kan fremstilles i henhold til kundernes krav, såsom: sort, hvid, beige, mørkerød osv. De præcision keramiske dele produceret af vores virksomhed er modstandsdygtige over for høj temperatur, korrosion, slid og isolering, og kan brugt i lang tid i miljø med høj temperatur, vakuum og ætsende gas.
Udbredt i en række halvlederproduktionsudstyr: Rammer (keramisk beslag), substrat (base), arm/bro (manipulator), mekaniske komponenter og keramiske luftlejer.
produktnavn | Høj renhed 99 aluminiumoxid keramisk firkantet rør / rør / stang | |||||
Indeks | Enhed | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Massefylde | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Vandoptagelse | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintret temperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Hårdhed | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Bøjningsstyrke (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Trykstyrke | Kgf/cm2 | 10.000 | 25.000 | 30.000 | 30.000 | |
Langtidsarbejdstemperatur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks.Arbejdstemperatur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumenresistivitet | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Anvendelse af aluminiumoxidkeramik med høj renhed:
1. Anvendes på halvlederudstyr: keramisk vakuumpatron, skæreskive, renseskive, keramisk CHUCK.
2. Waferoverførselsdele: waferhåndteringspatroner, waferskæreskiver, waferrenseskiver, waferoptiske inspektionssugekopper.
3. LED / LCD-fladskærmsindustri: keramisk dyse, keramisk slibeskive, LIFT PIN, PIN-skinne.
4. Optisk kommunikation, solenergi industri: keramiske rør, keramiske stænger, printkort screen print keramiske skrabere.
5. Varmebestandige og elektrisk isolerende dele: keramiske lejer.
På nuværende tidspunkt kan aluminiumoxidkeramik opdeles i høj renhed og almindelig keramik.Serien af højrent aluminiumoxidkeramik refererer til det keramiske materiale, der indeholder mere end 99,9% Al2O3.På grund af sintringstemperaturen på op til 1650 - 1990°C og dens transmissionsbølgelængde på 1 ~ 6μm, forarbejdes den sædvanligvis til smeltet glas i stedet for platindigel: som kan bruges som natriumrør på grund af dets lystransmittans og korrosionsbestandighed til alkalimetal.I elektronikindustrien kan det bruges som højfrekvent isoleringsmateriale til IC-substrater.I henhold til forskellige indhold af aluminiumoxid kan den almindelige aluminiumoxidkeramiske serie opdeles i 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik og 85 keramik.Nogle gange er keramikken med 80% eller 75% aluminiumoxid også klassificeret som almindelige aluminiumoxidkeramiske serier.Blandt dem bruges 99 aluminiumoxid keramisk materiale til at producere højtemperaturdigel, brandsikker ovnrør og specielle slidbestandige materialer, såsom keramiske lejer, keramiske tætninger og ventilplader.95 aluminium keramik bruges hovedsageligt som korrosionsbestandig slidbestandig del.85 keramik blandes ofte i nogle egenskaber, hvorved den elektriske ydeevne og den mekaniske styrke forbedres.Det kan bruge molybdæn, niobium, tantal og andre metaltætninger, og nogle bruges som elektriske vakuumenheder.
Kvalitetselement (repræsentativ værdi) | produktnavn | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Kemisk sammensætning Lav-natrium let sintringsprodukt | H2O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOl | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe203 | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO2 | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na20 | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al203 | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Mellem partikeldiameter (MT-3300, laseranalysemetode) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Krystalstørrelse | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Dannende tæthed** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Sintringstæthed** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Krympende rate af sintringslinje** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO er ikke inkluderet i beregningen af renheden af Al2O3.
* Intet afskalningspulver 29,4 MPa (300 kg/cm²), sintringstemperatur er 1600°C.
AES-11 / 11C / 11F: Tilsæt 0,05 ~ 0,1% MgO, sintringsevnen er fremragende, så den er anvendelig til aluminiumoxidkeramik med en renhed på mere end 99%.
AES-22S: Karakteriseret ved høj formningsdensitet og lav krympningshastighed af sintringslinjen, den er anvendelig til glideformstøbning og andre produkter i stor skala med den nødvendige dimensionsnøjagtighed.
AES-23 / AES-31-03: Den har en højere formningsdensitet, tixotropi og en lavere viskositet end AES-22S.førstnævnte bruges til keramik, mens sidstnævnte bruges som vandreduktion til brandsikringsmaterialer, hvilket vinder popularitet.
♦ Siliciumcarbid (SiC) egenskaber
Generelle kendetegn | Renhed af hovedkomponenter (vægt%) | 97 | |
Farve | Sort | ||
Massefylde (g/cm³) | 3.1 | ||
Vandabsorption (%) | 0 | ||
Mekaniske egenskaber | Bøjningsstyrke (MPa) | 400 | |
Ung modul (GPa) | 400 | ||
Vickers hårdhed (GPa) | 20 | ||
Termiske egenskaber | Maksimal driftstemperatur (°C) | 1600 | |
Termisk udvidelseskoefficient | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Termisk ledningsevne (W/m x K) | 130 110 | ||
Termisk stødmodstand ΔT (°C) | 300 | ||
elektriske egenskaber | Volumenresistivitet | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektrisk konstant | 10 GHz | - | |
Dielektrisk tab (x 10-4) | - | ||
Q-faktor (x 104) | - | ||
Dielektrisk gennembrudsspænding (KV/mm) | - |
♦ Siliciumnitridkeramik
Materiale | Enhed | Si3N4 |
Sintringsmetode | - | Gastryksintret |
Massefylde | g/cm³ | 3.22 |
Farve | - | Mørkegrå |
Vandabsorptionshastighed | % | 0 |
Ung modul | Gpa | 290 |
Vickers hårdhed | Gpa | 18 - 20 |
Trykstyrke | Mpa | 2200 |
Bøjningsstyrke | Mpa | 650 |
Varmeledningsevne | W/mK | 25 |
Termisk stødmodstand | Δ (°C) | 450 - 650 |
Maksimal driftstemperatur | °C | 1200 |
Volumenresistivitet | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrisk konstant | - | 8.2 |
Dielektrisk styrke | kV/mm | 16 |