♦ Aluminiumoxid (al2O3)
De præcision keramiske dele produceret af Zhonghui Intelligent Manufacturing Group (Zhhimg) kan være lavet af keramiske råvarer med høj renhed, 92 ~ 97% aluminiumoxid, 99,5% aluminiumoxid,> 99,9% aluminiumoxid og CIP kold isostatisk tryk. Sintring med høj temperatur og præcisionsbearbejdning, dimensionel nøjagtighed på ± 0,001 mm, glathed op til RA0.1, brug temperatur op til 1600 grader. Forskellige farver på keramik kan stilles i henhold til kundernes krav, såsom: sort, hvid, beige, mørkerød osv. De præcision keramiske dele, der er produceret af vores virksomhed, er resistente over for høj temperatur, korrosion, slid og isolering og kan bruges i lang tid i høje temperatur, vakuum og korrosivt gasmiljø.
Verligt brugt i en række halvlederproduktionsudstyr: rammer (keramisk beslag), substrat (base), arm/ bro (manipulator), mekaniske komponenter og keramisk luftbærende.
Produktnavn | Høj renhed 99 aluminiumoxid keramisk firkantet rør / rør / stang | |||||
Indeks | Enhed | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Densitet | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Vandabsorption | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sintret temperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Hårdhed | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Bøjningsstyrke (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Trykstyrke | KGF/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Lang tid arbejdstemperatur | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks. Arbejdstemperatur | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumenresistivitet | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Anvendelse af aluminiumoxid -keramik med høj renhed:
1. Anvendt til halvlederudstyr: Keramisk vakuumchuck, skære disk, rengøringsskive, keramisk chuck.
2. Wafer Transfer Parts: Wafer Handling Chucks, Wafer Cutting Discs, Wafer Cleaning Discs, Wafer Optical Inspection Sugtion Cups.
3. LED / LCD Flat Panel Display Industry: Keramisk dyse, keramisk slibeskive, løftestift, pin -jernbane.
4. Optisk kommunikation, solindustri: keramiske rør, keramiske stænger, kredsløbskærmskærmskrabning keramiske skrabere.
5. Varmebestandig og elektrisk isolerende dele: keramiske lejer.
På nuværende tidspunkt kan aluminiumoxidkeramik opdeles i høj renhed og almindelig keramik. Aluminiums -oxid -keramikserien med høj renhed henviser til det keramiske materiale, der indeholder mere end 99,9% al₂o₃. På grund af sin sintringstemperatur på op til 1650 - 1990 ° C og dens transmissionsbølgelængde på 1 ~ 6μm, behandles den normalt til smeltet glas i stedet for platin -crucible: som kan bruges som natriumrør på grund af dets lette transmission og korrosionsmodstand over for alkali -metal. I elektronikindustrien kan den bruges som det højfrekvente isolerende materiale til IC-underlag. I henhold til forskellige indhold af aluminiumoxid kan den almindelige keramiske seramiske aluminiumoxid opdeles i 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik og 85 keramik. Nogle gange klassificeres keramikken med 80% eller 75% af aluminiumoxid også som almindelige keramiske serier med aluminiumoxid. Blandt dem bruges 99 keramiske materiale til aluminiumoxid til at producere digelmangel med høj temperatur, brandbeskyttende ovnrør og specielle slidbestandige materialer, såsom keramiske lejer, keramiske tætninger og ventilplader. 95 aluminiumkeramik bruges hovedsageligt som korrosionsbestandig slidbestandig del. 85 Keramik blandes ofte i nogle egenskaber og forbedrer derved elektrisk ydeevne og mekanisk styrke. Det kan bruge molybdæn, niob, tantal og andre metalforseglinger, og nogle bruges som elektriske vakuumindretninger.
Kvalitetsartikel (repræsentativ værdi) | Produktnavn | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | Al-31-03 | |
Kemisk sammensætning lavt-natrium let sintringsprodukt | H₂o | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
Mgo* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
Medium partikeldiameter (MT-3300, laseranalysemetode) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Krystalstørrelse | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Danner densitet ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2,57 | 2,56 | |
Sintringstæthed ** | g/cm³ | 3,88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Krympningshastighed på sintringslinje ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO er ikke inkluderet i beregningen af renhed af al₂o₃.
* Intet skaleringspulver 29,4MPa (300 kg/cm²), sintringstemperatur er 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Tilføj 0,05 ~ 0,1% MgO, sinighedsevnen er fremragende, så det gælder for aluminiumoxidkeramik med renheden på mere end 99%.
AES-22S: Karakteriseret ved høj dannende tæthed og lav krympningshastighed for sintringslinjen, det er anvendeligt til slipformstøbning og andre store produkter med krævet dimensionel nøjagtighed.
AES-23 / AES-31-03: Det har en højere dannende tæthed, thixotropi og en lavere viskositet end AES-22'er. Førstnævnte er vant til keramik, mens sidstnævnte bruges som vandreduktion til brandsikringsmaterialer og får popularitet.
♦ Siliciumcarbid (SIC) egenskaber
Generelle egenskaber | Renhed af hovedkomponenter (vægt%) | 97 | |
Farve | Sort | ||
Densitet (g/cm³) | 3.1 | ||
Vandabsorption (%) | 0 | ||
Mekaniske egenskaber | Bøjningsstyrke (MPA) | 400 | |
Young Modulus (GPA) | 400 | ||
Vickers Hardness (GPA) | 20 | ||
Termiske egenskaber | Maksimal driftstemperatur (° C) | 1600 | |
Termisk ekspansionskoefficient | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
Termisk ledningsevne (w/m x k) | 130 110 | ||
Termisk stødmodstand ΔT (° C) | 300 | ||
Elektriske egenskaber | Volumenresistivitet | 25 ° C. | 3 x 106 |
300 ° C. | - | ||
500 ° C. | - | ||
800 ° C. | - | ||
Dielektrisk konstant | 10 GHz | - | |
Dielektrisk tab (x 10-4) | - | ||
Q -faktor (x 104) | - | ||
Dielektrisk sammenbrudspænding (KV/mm) | - |
♦ Siliciumnitrid keramik
Materiale | Enhed | Si₃n₄ |
Sintringsmetode | - | Gastryk sintret |
Densitet | g/cm³ | 3.22 |
Farve | - | Mørkegrå |
Vandabsorptionshastighed | % | 0 |
Ung modul | GPA | 290 |
Vickers hårdhed | GPA | 18 - 20 |
Trykstyrke | MPA | 2200 |
Bøjningsstyrke | MPA | 650 |
Termisk ledningsevne | M/mk | 25 |
Termisk stødmodstand | Δ (° C) | 450 - 650 |
Maksimal driftstemperatur | ° C. | 1200 |
Volumenresistivitet | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrisk konstant | - | 8.2 |
Dielektrisk styrke | KV/mm | 16 |