Granit er et populært materiale i waferforarbejdningsindustrien på grund af dets exceptionelle mekaniske egenskaber og holdbarhed. Det er en natursten, der udvindes i stenbrud over hele verden og har været brugt i århundreder til forskellige byggeformål, herunder fremstilling af halvlederudstyr. I denne artikel vil vi diskutere granits egenskaber og dens forskellige anvendelser i waferforarbejdningsudstyr.
Egenskaber af granit
Granit er en magmatisk bjergart, der er sammensat af glimmer, feldspat og kvarts. Den er kendt for sin exceptionelle styrke, hårdhed og holdbarhed, hvilket gør den til et ideelt materiale til anvendelser, der kræver høj præcision og nøjagtighed. Granit har en lav termisk udvidelseskoefficient, hvilket betyder, at den ikke udvider sig eller trækker sig sammen på grund af temperaturændringer, hvilket gør den yderst stabil. Derudover er granit modstandsdygtig over for korrosion og kemikalier, hvilket gør den til et ideelt materiale til brug i barske miljøer.
Anvendelser af granit i waferforarbejdningsudstyr
Granit er et meget anvendt materiale i waferforarbejdningsindustrien på grund af dets unikke kombination af egenskaber. Følgende er nogle af granits anvendelser i waferforarbejdningsudstyr:
1. Måleværktøjer
Granit bruges almindeligvis i fremstillingen af metrologiske værktøjer, såsom koordinatmålemaskiner (CMM'er) og optiske målesystemer. Disse værktøjer kræver stabile overflader, der kan modstå vibrationer og varme. Granits høje stivhed og lave termiske udvidelse gør det til et ideelt materiale til sådanne anvendelser.
2. Wafer-spændepatroner
Waferchucks bruges til at holde wafers under fremstillingsprocessen. Disse chucks kræver en flad og stabil overflade for at forhindre waferen i at vride eller bøje. Granit giver en flad overflade, der er yderst stabil og modstandsdygtig over for vridning, hvilket gør det til et fremragende materiale til waferchucks.
3. Kemisk-mekanisk poleringsværktøj (CMP)
CMP-værktøjer bruges til at polere wafere under fremstillingsprocessen. Disse værktøjer kræver en stabil platform, der kan modstå vibrationer og varme. Granits fremragende stivhed og lave termiske udvidelse gør det til et ideelt materiale til CMP-værktøjer.
4. Udstyr til inspektion af wafers
Waferinspektionsudstyr bruges til at inspicere wafere for defekter og mangler. Disse værktøjer kræver en stabil og flad overflade for at sikre nøjagtige målinger. Granit giver en stabil og flad overflade, der er modstandsdygtig over for vridning, hvilket gør det til et ideelt materiale til waferinspektionsudstyr.
Konklusion
Afslutningsvis er granit et meget anvendt materiale i waferforarbejdningsindustrien på grund af dets exceptionelle mekaniske egenskaber og holdbarhed. Det bruges almindeligvis i fremstillingen af måleværktøjer, waferchucks, CMP-værktøjer og waferinspektionsudstyr. Den unikke kombination af egenskaber gør det til et ideelt materiale til applikationer, der kræver høj præcision og nøjagtighed. Med sine mange fordele er granit fortsat et populært valg til waferforarbejdningsudstyr, og dets anvendelse vil sandsynligvis fortsætte med at vokse i fremtiden.
Opslagstidspunkt: 27. dec. 2023