Granit er en naturligt forekommende sten, der har været brugt i lang tid i waferbehandlingsudstyr.Den er kendt for sine fremragende egenskaber ved at have lav termisk udvidelse, høj stivhed og god stabilitet.Men som alle materialer har granit sit eget sæt af defekter, der kan påvirke kvaliteten af waferbehandlingsudstyr.
En af de største fejl ved granit er dens tendens til at revne eller gå i stykker.Dette skyldes tilstedeværelsen af mikrorevner, der kan opstå under dannelsen af klippen.Hvis disse mikrorevner ikke identificeres og behandles korrekt, kan de forplante sig og føre til fejl i udstyret.For at forhindre dette i at ske, skal producenter af procesudstyr bruge højkvalitetsgranit, der er blevet behandlet og testet for at sikre, at det er fri for mikrorevner.
En anden defekt ved granit er dens modtagelighed for korrosion.Hvis granitudstyr kommer i kontakt med korrosive miljøer, kan det begynde at nedbrydes med tiden.Dette kan føre til, at udstyret bliver beskadiget eller ikke fungerer korrekt.For at forhindre dette skal fabrikanterne sikre, at den granit, der anvendes i deres udstyr, er korrekt behandlet og belagt for at forhindre, at der opstår korrosion.
Granit er også tilbøjelig til at vride sig over tid på grund af dets iboende termiske egenskaber.Dette skyldes, at granit har en meget lav termisk udvidelseskoefficient, hvilket betyder, at den ikke udvider sig eller trækker sig meget sammen, når den udsættes for ændringer i temperatur.Men selv en lille mængde udvidelse eller sammentrækning kan forårsage vridning i udstyret over tid.Det er vigtigt, at udstyrsproducenten tager hensyn til granittens termiske egenskaber, når de designer deres udstyr for at forhindre, at denne defekt opstår.
Endelig kan granits porøse natur føre til problemer med forurening.Hvis granitten ikke er ordentligt forseglet, kan den absorbere forurenende stoffer, der kan påvirke kvaliteten af waferen.Dette kan føre til dyr nedetid og tabt produktion.For at forhindre dette skal producenterne forsegle granitten korrekt for at forhindre, at forurenende stoffer absorberes.
Som konklusion er granit et fremragende materiale til brug i waferbehandlingsudstyr.Det er dog vigtigt at være opmærksom på dens defekter og tage de nødvendige forholdsregler for at forhindre dem i at opstå.Med korrekt pleje og vedligeholdelse kan granitudstyr fortsætte med at fungere i mange år, hvilket giver højkvalitets wafers til halvlederindustrien.
Indlægstid: 27. december 2023