Granit er en naturligt forekommende bjergart, der længe har været anvendt i waferbehandlingsudstyr. Den er kendt for sine fremragende egenskaber med lav termisk udvidelse, høj stivhed og god stabilitet. Men ligesom alle materialer har granit sine egne defekter, der kan påvirke kvaliteten af waferbehandlingsudstyr.
En af de største mangler ved granit er dens tendens til at revne eller gå i stykker. Dette skyldes tilstedeværelsen af mikrorevner, der kan opstå under dannelsen af bjergarten. Hvis disse mikrorevner ikke identificeres og behandles korrekt, kan de sprede sig og føre til, at udstyret svigter. For at forhindre dette skal producenter af procesudstyr bruge granit af høj kvalitet, der er blevet behandlet og testet for at sikre, at den er fri for mikrorevner.
En anden mangel ved granit er dens modtagelighed for korrosion. Hvis granitudstyr kommer i kontakt med korrosive miljøer, kan det begynde at nedbrydes over tid. Dette kan føre til, at udstyret bliver beskadiget eller ikke fungerer korrekt. For at forhindre dette skal producenter sikre, at den granit, der anvendes i deres udstyr, er korrekt behandlet og belagt for at forhindre korrosion.
Granit er også tilbøjelig til at vride sig over tid på grund af sine iboende termiske egenskaber. Dette skyldes, at granit har en meget lav termisk udvidelseskoefficient, hvilket betyder, at den ikke udvider sig eller trækker sig sammen meget, når den udsættes for temperaturændringer. Men selv en lille smule udvidelse eller sammentrækning kan forårsage vridning i udstyret over tid. Det er vigtigt, at udstyrsproducenten tager højde for granittens termiske egenskaber, når de designer deres udstyr, for at forhindre denne defekt.
Endelig kan granits porøse natur føre til problemer med kontaminering. Hvis granitten ikke er korrekt forseglet, kan den absorbere forurenende stoffer, der kan påvirke waferens kvalitet. Dette kan føre til dyr nedetid og tabt produktion. For at forhindre dette skal producenterne forsegle granitten korrekt for at forhindre, at forurenende stoffer absorberes.
Afslutningsvis er granit et fremragende materiale til brug i waferbehandlingsudstyr. Det er dog vigtigt at være opmærksom på dets defekter og tage de nødvendige forholdsregler for at forhindre dem. Med korrekt pleje og vedligeholdelse kan granitudstyr fortsætte med at fungere i mange år og levere wafere af høj kvalitet til halvlederindustrien.
Opslagstidspunkt: 27. dec. 2023