Granitkomponenter er blevet vidt brugt i halvlederfremstillingsprocessen på grund af deres fremragende egenskaber, såsom overlegen overfladefinish, høj stivhed og fremragende vibrationsdæmpning. Granitkomponenter er vigtige for fremstilling af halvlederfremstilling, herunder litografimaskiner, poleringsmaskiner og metrologisystemer, da de giver præcisionspositionering og stabilitet under fremstillingsprocessen. På trods af alle fordelene ved at bruge granitkomponenter har de også mangler. I denne artikel vil vi diskutere defekterne af granitkomponenter til produktionsprodukter til fremstilling af halvlederproduktion.
For det første har granitkomponenter en høj termisk ekspansionskoefficient. Det betyder, at de ekspanderer markant under termisk stress, hvilket kan forårsage problemer under fremstillingsprocessen. Halvlederfremstillingsprocessen kræver høj præcision og dimensionel nøjagtighed, der kan kompromitteres på grund af termisk stress. F.eks. Kan deformation af siliciumskive på grund af termisk ekspansion forårsage justeringsproblemer under litografi, hvilket kan kompromittere kvaliteten af halvlederenheden.
For det andet har granitkomponenter porøsitetsdefekter, der kan forårsage vakuumlækager i halvlederproduktionsprocessen. Tilstedeværelsen af luft eller enhver anden gas i systemet kan forårsage forurening på skivens overflade, hvilket resulterer i defekter, der kan påvirke halvlederenhedens ydelse. Inerte gasser som argon og helium kunne sive ind i porøse granitkomponenter og skabe gasbobler, der kan forstyrre vakuumprocessen's integritet.
For det tredje har granitkomponenter mikrofrakturer, der kan forstyrre fremstillingsprocessen's præcision. Granit er et sprødt materiale, der kan udvikle mikrofrakturer over tid, især når de udsættes for konstante stresscyklusser. Tilstedeværelsen af mikrofrakturer kan føre til dimensionel ustabilitet, hvilket forårsager betydelige problemer under fremstillingsprocessen, såsom litografilindretning eller waferpolering.
For det fjerde har granitkomponenter begrænset fleksibilitet. Halvlederfremstillingsprocessen kræver fleksibelt udstyr, der kan rumme forskellige procesændringer. Granitkomponenter er imidlertid stive og kan ikke tilpasse sig forskellige procesændringer. Derfor kræver eventuelle ændringer i fremstillingsprocessen fjernelse eller udskiftning af granitkomponenterne, hvilket fører til nedetid og påvirker produktiviteten.
For det femte kræver granitkomponenter særlig håndtering og transport på grund af deres vægt og skrøbelighed. Granit er et tæt og tungt materiale, der kræver specialiseret håndteringsudstyr såsom kraner og løftere. Derudover kræver granitkomponenter omhyggelig pakning og transport for at forhindre skader under forsendelse, hvilket fører til ekstra omkostninger og tid.
Afslutningsvis har granitkomponenter nogle ulemper, der kan påvirke halvlederproduktionsprocessprodukternes kvalitet og produktivitet. Disse defekter kunne minimeres ved omhyggelig håndtering og vedligeholdelse af granitkomponenter, herunder periodisk inspektion for mikrofrakturer og porøsitetsdefekter, korrekt rengøring for at forhindre forurening og omhyggelig håndtering under transport. På trods af manglerne forbliver granitkomponenter en vigtig del af halvlederproduktionsprocessen på grund af deres overlegne overfladefinish, høj stivhed og fremragende vibrationsdæmpning.
Posttid: DEC-05-2023