Granitkomponenter er blevet meget anvendt i halvlederfremstillingsprocessen på grund af deres fremragende egenskaber såsom overlegen overfladefinish, høj stivhed og fremragende vibrationsdæmpning. Granitkomponenter er essentielle for udstyr til halvlederfremstilling, herunder litografimaskiner, poleringsmaskiner og målesystemer, da de giver præcis positionering og stabilitet under fremstillingsprocessen. Trods alle fordelene ved at bruge granitkomponenter har de også mangler. I denne artikel vil vi diskutere manglerne ved granitkomponenter til produkter i halvlederfremstillingsprocessen.
For det første har granitkomponenter en høj termisk udvidelseskoefficient. Det betyder, at de udvider sig betydeligt under termisk stress, hvilket kan forårsage problemer under fremstillingsprocessen. Halvlederfremstillingsprocessen kræver høj præcision og dimensionel nøjagtighed, som kan blive kompromitteret på grund af termisk stress. For eksempel kan deformation af siliciumwafer på grund af termisk udvidelse forårsage justeringsproblemer under litografi, hvilket kan kompromittere kvaliteten af halvlederkomponenten.
For det andet har granitkomponenter porøsitetsdefekter, der kan forårsage vakuumlækager i halvlederfremstillingsprocessen. Tilstedeværelsen af luft eller anden gas i systemet kan forårsage kontaminering på waferens overflade, hvilket resulterer i defekter, der kan påvirke halvlederkomponentens ydeevne. Inerte gasser som argon og helium kan sive ind i porøse granitkomponenter og skabe gasbobler, der kan forstyrre vakuumprocessens integritet.
For det tredje har granitkomponenter mikrofrakturer, der kan påvirke fremstillingsprocessens præcision. Granit er et sprødt materiale, der kan udvikle mikrofrakturer over tid, især når det udsættes for konstante belastningscyklusser. Tilstedeværelsen af mikrofrakturer kan føre til dimensionel ustabilitet, hvilket forårsager betydelige problemer under fremstillingsprocessen, såsom litografisk justering eller waferpolering.
For det fjerde har granitkomponenter begrænset fleksibilitet. Halvlederfremstillingsprocessen kræver fleksibelt udstyr, der kan håndtere forskellige procesændringer. Granitkomponenter er dog stive og kan ikke tilpasse sig forskellige procesændringer. Derfor nødvendiggør enhver ændring i fremstillingsprocessen fjernelse eller udskiftning af granitkomponenterne, hvilket fører til nedetid og påvirker produktiviteten.
For det femte kræver granitkomponenter særlig håndtering og transport på grund af deres vægt og skrøbelighed. Granit er et tæt og tungt materiale, der kræver specialiseret håndteringsudstyr såsom kraner og løftegrej. Derudover kræver granitkomponenter omhyggelig pakning og transport for at forhindre skader under forsendelse, hvilket fører til yderligere omkostninger og tid.
Afslutningsvis har granitkomponenter nogle ulemper, der kan påvirke produkternes kvalitet og produktivitet i forbindelse med halvlederfremstillingsprocessen. Disse defekter kan minimeres gennem omhyggelig håndtering og vedligeholdelse af granitkomponenter, herunder periodisk inspektion for mikrofrakturer og porøsitetsdefekter, korrekt rengøring for at forhindre kontaminering og omhyggelig håndtering under transport. På trods af defekterne forbliver granitkomponenter en vigtig del af halvlederfremstillingsprocessen på grund af deres overlegne overfladefinish, høje stivhed og fremragende vibrationsdæmpning.
Opslagstidspunkt: 05. dec. 2023