Granit er en type hård bjergart, der er blevet et uundværligt materiale i halvlederindustrien. Dens egenskaber gør det muligt at modstå høje temperaturer, hvilket gør det ideelt til brug i forskellige stadier af fremstillingsprocesser for halvlederkomponenter. Som et resultat har granitsamling fundet omfattende anvendelsesområder i halvlederfremstillingsprocesser.
En af de mest anvendte anvendelser af granitmontering er konstruktionen af højpræcisions maskinværktøjsstrukturer. Granits stivhed og stabilitet gør det muligt at producere præcise og nøjagtige værktøjer med ringe eller ingen deformation. Dette præcisionsniveau er nødvendigt i halvlederfremstillingsprocesser såsom ionimplantation, hvor strålen skal rettes præcist mod waferen.
En anden anvendelse af granitmontering i halvlederfremstilling er i konstruktionen af metrologiudstyr. Metrologiudstyr er afgørende i halvlederfremstillingsprocesser, da det måler og verificerer nøjagtigheden af de producerede enheder. Granits dimensionsstabilitet, lave termiske udvidelse og fremragende vibrationsdæmpende egenskaber gør det til det foretrukne materiale i konstruktionen af metrologiudstyr. Dette inkluderer store granitoverflader, der anvendes til opdeling og inspektion af wafere.
Optiske borde er endnu et område med omfattende anvendelse af granitmontering i halvlederindustrien. Optiske borde bruges til test af optiske enheder såsom bølgeledere til datakommunikation. Granits fladhed, lave termiske udvidelse, høje stivhed og mekaniske stabilitet gør det muligt at give en yderst stabil overflade til montering og positionering af optik. Granit optiske borde kan give den stabilitet og stivhed, der kræves for at udføre nøjagtig og præcis test af optiske enheder.
Granit finder også anvendelse i konstruktionen af waferchucks og -faser. Under halvlederfremstillingsprocessen er præcisionsjustering og positionskontrol afgørende. Waferchucks, som holder waferne på plads under bearbejdning, skal opretholde positionsnøjagtigheden, samtidig med at de kan modstå høje temperaturer og vakuumforhold. Granit har fremragende dimensionsstabilitet over et bredt temperaturområde og kan modstå vakuumforhold, hvilket gør den ideel til konstruktionen af waferchucks. Faser, der bruges til at flytte wafers fra en position til en anden, gennemgår en cyklisk sekvens af bevægelser under en halvlederfremstillingsproces. Granitsamling giver den stabilitet og holdbarhed, der er nødvendig for at modstå de kontinuerlige og gentagne bevægelsescyklusser.
Kort sagt er anvendelsen af granitmontering i halvlederindustrien omfattende. Dens egenskaber som dimensionsstabilitet, lav termisk udvidelse, høj stivhed og vibrationsdæmpning gør det til et ideelt materiale til brug i forskellige stadier af fremstillingsprocesser for halvlederkomponenter. Fra konstruktionen af højpræcisionsværktøjsmaskiner og metrologiudstyr til optiske borde og waferfaser og -chucks spiller granits egenskaber en afgørende rolle i at give den stabilitet, nøjagtighed og repeterbarhed, der er nødvendig for at opnå fremstilling af halvlederkomponenter af høj kvalitet.
Opslagstidspunkt: 06. dec. 2023