Selvom en granitplatform kan virke som en simpel stenplade, ændrer udvælgelseskriterierne sig drastisk, når man går fra almindelige industrielle applikationer til optisk inspektion og metrologi med høje indsatser. For ZHHIMG® betyder levering af præcisionskomponenter til verdensledere inden for halvleder- og laserteknologi en anerkendelse af, at en platform til optisk måling ikke bare er en base – den er en integreret, ikke-forhandlingsbar del af selve det optiske system.
Kravene til optisk inspektion – som omfatter billeddannelse med høj forstørrelse, laserscanning og interferometri – er defineret af behovet for at eliminere alle kilder til målestøj. Dette fører til et fokus på tre særlige egenskaber, der adskiller en ægte optisk platform fra en standard industriel platform.
1. Overlegen densitet for uovertruffen vibrationsdæmpning
Til standard industrielle CNC-baser kan støbejern eller typisk granit give tilstrækkelig stivhed. Optiske opsætninger er dog usædvanligt følsomme over for små forskydninger forårsaget af eksterne vibrationer fra fabriksudstyr, ventilationssystemer eller endda fjern trafik.
Det er her, materialevidenskab bliver altafgørende. En optisk platform kræver granit med exceptionel iboende materialedæmpning. ZHHIMG® anvender sin proprietære ZHHIMG® Black Granite (≈ 3100 kg/m³). Dette materiale med ultrahøj densitet har, i modsætning til granit- eller marmorerstatninger af lavere kvalitet, en krystallinsk struktur, der er yderst effektiv til at aflede mekanisk energi. Målet er ikke blot at reducere vibrationer, men at sikre, at basen forbliver et fuldstændig stille mekanisk gulv, hvilket minimerer den relative bevægelse mellem objektivlinsen og den inspicerede prøve på submikronniveau.
2. Ekstrem termisk stabilitet for at bekæmpe drift
Standard industrielle platforme tolererer mindre dimensionsændringer; en tiendedel af en grad Celsius betyder måske ikke noget ved boring. Men i optiske systemer, der udfører præcise målinger over længere perioder, introducerer enhver termisk afvigelse i basens geometri systematisk fejl.
Til optisk inspektion skal en platform fungere som en termisk dræn med en usædvanlig lav termisk udvidelseskoefficient (CTE). Den overlegne masse og densitet af ZHHIMG® Black Granite giver den nødvendige termiske inerti til at modstå små udvidelser og sammentrækninger, der kan forekomme i et klimakontrolleret rum. Denne stabilitet sikrer, at den kalibrerede fokusafstand og planjusteringen af de optiske komponenter forbliver fast, hvilket garanterer integriteten af målinger, der strækker sig over timer - en ikke-forhandlingsbar faktor for waferinspektion med høj opløsning eller metrologi af fladskærme.
3. Opnåelse af nanoniveau-fladhed og geometrisk præcision
Den mest synlige forskel er kravet om planhed. Mens en almindelig industriel base kan opfylde planhed i grad 1 eller grad 0 (målt i få mikrometer), kræver optiske systemer nøjagtighed i nanometerområdet. Dette niveau af geometrisk perfektion er nødvendigt for at give et pålideligt referenceplan til lineære scener og autofokussystemer, der fungerer efter principperne om lysinterferens.
At opnå og certificere nanometerplanhed kræver en helt anden fremstillingsmetode. Det involverer højt specialiserede teknikker, der bruger avanceret maskineri som Taiwan Nanter-slibere, og bekræftes af sofistikeret metrologiudstyr som Renishaw Laser Interferometre. Denne proces skal finde sted i et ultrastabilt miljø, såsom ZHHIMG®'s vibrationsdæmpede, klimakontrollerede værksteder, hvor selv de subtile luftbevægelser minimeres.
I bund og grund er valget af en præcisionsplatform i granit til optisk inspektion en beslutning om at investere i en komponent, der aktivt garanterer præcisionen af selve den optiske måling. Det kræver et partnerskab med en producent, der ikke ser ISO 9001-certificering og omfattende dimensionel sporbarhed som valgfrie funktioner, men som grundlæggende krav for at komme ind i verdenen af ultrapræcisionsoptik.
Opslagstidspunkt: 21. oktober 2025