I den præcise kæde af halvlederproduktion er waferoverføringssystemet som "livslinjen for chipproduktionslinjen", og dets stabilitet og nøjagtighed bestemmer direkte chipsens udbytte. Den nye generation af waferoverføringssystemer kombinerer revolutionerende lineære motorer med granitbaser, og de unikke fordele ved granitmaterialer er netop kernekoden til at låse op for højtydende transmission.
Granitbase: Opbygning af et "klippefast fundament" for stabil transmission
Granit, der har gennemgået hundredvis af millioner af års geologisk raffinering, har en tæt og ensartet intern mineralkrystallisation. Denne naturlige egenskab gør det til et ideelt basismateriale til waferoverføringssystemer. I det komplekse miljø i halvlederrenrum kan granit med sin ultralave termiske udvidelseskoefficient (kun 5-7 × 10⁻⁶/℃) modstå den varme, der genereres under udstyrets drift, og påvirkningen af miljøtemperaturændringer, hvilket sikrer stabiliteten af basisstørrelsen og undgår afvigelser i transmissionsvejen forårsaget af termisk deformation. Dens fremragende vibrationsdæmpende ydeevne kan hurtigt absorbere de mekaniske vibrationer, der genereres under opstart, nedlukning og acceleration af lineære motorer, samt de eksterne interferenser, der forårsages af driften af andet udstyr i værkstedet, hvilket giver en stabil platform med "nul rystelser" til waferoverføring.
Samtidig sikrer granits kemiske stabilitet, at den ikke korroderer eller ruster i halvlederværksteder, hvor syre- og alkalireagenser er flygtige, og der kræves høj renlighed, hvilket undgår påvirkning af transmissionsnøjagtigheden på grund af materialeældning eller adsorption af forurenende stoffer. De glatte og tætte overfladeegenskaber kan mere effektivt reducere støvadhæsion, opfylde de strenge støvfri standarder for renrum og eliminere risikoen for waferkontaminering fra roden.
Den "gyldne partnerskabs"-effekt af lineære motorer og granit
Lineære motorer, med deres egenskaber som ingen mekanisk transmissionsfrigang, høj acceleration og høj responshastighed, giver wafertransmission fordelene ved "hurtig, præcis og stabil". Granitbasen giver en solid og pålidelig støtteplatform. De to arbejder sammen for at opnå et spring i ydeevne. Når den lineære motor driver waferbæreren til at køre på granitbasens spor, sikrer basens stærke stivhed og stabilitet en effektiv transmission af motorens drivkraft, hvilket undgår krafttab eller transmissionsforsinkelse forårsaget af basens deformation.
Drevet af kravet om præcision i nanoskala kan lineære motorer opnå forskydningskontrol på submikronniveau. De højpræcisionsbehandlingsegenskaber ved granitbaser (med planhedsfejl kontrolleret inden for ±1 μm) matcher perfekt den præcise styring af lineære motorer, hvilket tilsammen sikrer, at positioneringsfejlen under waferoverførsel er mindre end ±5 μm. Uanset om det drejer sig om højhastighedsskift mellem forskellige procesudstyr eller præcis parkering til waferoverdragelse, kan kombinationen af lineære motorer og granitbaser sikre "nul afvigelse og nul jitter" i waferoverførsel.
Verifikation af branchepraksis: Dobbelt forbedring af effektivitet og udbytte
Efter at have opgraderet sit waferoverføringssystem, implementerede en førende global halvledervirksomhed en lineær motor + granitbase-løsning, som øgede waferoverføringseffektiviteten med 40%, reducerede forekomsten af fejl såsom kollision og forskydning under overførselsprocessen med 85% og forbedrede det samlede udbytte af chips med 6%. Bag dataene ligger garantien for transmissionsstabilitet, som granitbasen giver, og den lineære motors højhastigheds- og præcise synergieffekt, hvilket reducerer tab og fejl i waferoverføringsprocessen betydeligt.
Fra materialeegenskaber til præcisionsfremstilling, fra ydeevnefordele til praktisk verifikation, har kombinationen af lineære motorer og granitbaser omdefineret standarderne for waferoverføringssystemer. I fremtiden, når halvlederteknologien udvikler sig mod 3nm- og 2nm-processer, vil granitmaterialer helt sikkert fortsætte med at give industriens udvikling et stærkt skub med deres uerstattelige fordele.
Udsendelsestidspunkt: 14. maj 2025