Granitlag er en vigtig komponent i forskellige halvlederkomponenter. Som et yderst stabilt og stift materiale anvendes granit i vid udstrækning som base for halvlederbehandlingsudstyr. Det er kendetegnet ved sin lave termiske udvidelseskoefficient, høje dimensionsstabilitet og fremragende mekaniske egenskaber. På grund af disse egenskaber anvendes granitlag oftest i tre forskellige typer halvlederkomponenter - metrologiudstyr, litografiudstyr og inspektionsudstyr.
Måleudstyr bruges til at måle og detektere de kritiske dimensioner af halvlederkomponenter. Det spiller en afgørende rolle i at opretholde kvaliteten og ensartetheden af halvlederfremstillingsprocessen. Måleudstyr omfatter instrumenter såsom optiske mikroskoper, elektronmikroskoper og atomkraftmikroskoper (AFM'er). Da disse måleinstrumenters ydeevne afhænger af deres stabilitet, præcision og vibrationsmodstand, er granit det ideelle valg til deres lejemateriale. Ensartetheden og stabiliteten af granitlejet giver en stabil platform for instrumenterne, hvilket forbedrer deres nøjagtighed og pålidelighed.
Litografiudstyr bruges til at lave mikrochipmønstre på waferen. Litografiprocessen kræver et højt niveau af præcision og nøjagtighed for at skabe komplekse kredsløb og forbedre chippens ydeevne. Litografiudstyret inkluderer stepper- og scannersystemer, der bruger lys til at overføre billeder til waferen. Da litografiprocessen er meget følsom over for vibrationer og termiske ændringer, er et leje af høj kvalitet afgørende for at sikre stabiliteten og repeterbarheden af litografiprocessen. Granitleje giver den nødvendige stabilitet og strenge vibrationsdæmpningsevne til litografisystemer. Granitlejet gør det muligt for stepper- eller scannersystemet at opretholde præcise rumlige forhold, hvilket sikrer høj nøjagtighed og slutproduktkvalitet.
Inspektionsudstyr bruges til at detektere eventuelle defekter i halvlederkomponenter. Inspektionsudstyr omfatter systemer som laserscanningsmikroskoper, elektronmikroskoper og optiske mikroskoper. Da disse apparater skal være yderst nøjagtige, stabile og vibrationsbestandige, er granitlejer det perfekte materiale. Granits mekaniske egenskaber og dimensionsstabilitet hjælper med at isolere vibrationer, hvilket forbedrer nøjagtigheden af inspektionsudstyrets output.
Afslutningsvis er granitleje afgørende for halvlederindustrien og anvendes i vid udstrækning i forskellige typer udstyr. Dets unikke egenskaber, såsom dimensionsstabilitet, lav termisk udvidelseskoefficient og fremragende mekanisk stabilitet, gør granit til det ideelle valg som lejemateriale i halvlederudstyr. Da granitlejet af høj kvalitet giver den nødvendige stabilitet, præcision og vibrationsmodstand til halvlederudstyret, forbedrer det i sidste ende kvaliteten af det endelige produkt. Derfor vil brugen af granitleje i halvlederudstyr helt sikkert fortsætte i mange år fremover.
Opslagstidspunkt: 3. april 2024