Granitmaterialer er meget udbredt i halvlederindustrien på grund af deres fremragende egenskaber, såsom høj stabilitet, lav termisk udvidelse og høj modstandsdygtighed over for korrosion.Disse egenskaber gør granit til et ideelt materiale til at bygge højpræcisionskomponenter i et wafer-overførselssystem.
I halvlederfremstillingsprocessen spiller waferoverførselssystemet en kritisk rolle i transporten af wafers på tværs af forskellige stadier af fremstillingsprocessen.Præcision og nøjagtighed er de væsentlige krav til disse systemer, da selv små afvigelser kan bringe hele processen i fare.Derfor skal komponenter i waferoverførselssystemet være lavet af materialer af høj kvalitet, og granit opfylder disse kriterier.
Nogle dele af waferoverførselssystemet, der er lavet af granitmaterialer, omfatter:
1. Vacuum Chuck Bord
Vacuum chuck-bordet bruges til at holde waferen under processen, og det skal have en stabil overflade for at sikre, at waferen ikke bliver beskadiget.Granit er et ideelt materiale til fremstilling af dette bord, fordi det har en flad, ikke-porøs overflade, der giver høj stabilitet og præcision.Derudover har granit en lav termisk udvidelseskoefficient, hvilket gør den modstandsdygtig over for temperaturændringer, der kan forårsage dimensionsændringer i waferen.
2. Luftlejetrin
Den luftbærende fase bruges til at transportere waferen gennem forskellige stadier af fremstillingsprocessen.Scenen er konstrueret til at give en friktionsfri bevægelse, som kræver høj præcision og stabilitet.Granit bruges i denne applikation, fordi det er en stiv og hård sten, og den modstår deformation og slid over tid.
3. Lineære bevægelsesguider
De lineære bevægelsesguider bruges til at styre det luftbærende trin, og de skal placeres nøjagtigt for at minimere fejl.Granit bruges til at bygge denne guide, fordi den har fremragende mekanisk stabilitet og styrke.Materialet er desuden korrosionsbestandigt, hvilket sikrer styresystemets levetid.
4. Metrologiudstyr
Metrologiudstyr bruges til at måle waferens dimensioner og egenskaber under fremstillingsprocessen.Granit er et ideelt materiale til at bygge dette udstyr, fordi det har høj stivhed, lav ekspansion og minimal deformation under belastning.Desuden sikrer granits termiske stabilitet, at metrologiudstyret forbliver stabilt og nøjagtigt over tid.
Afslutningsvis er halvlederindustrien afhængig af præcision og nøjagtighed, og granitmaterialer har vist sig at være yderst pålidelige og stabile i fremstillingsprocessen.Med mange kritiske komponenter i wafer-overførselssystemet, der kræver høj stabilitet, præcision og lav termisk ekspansion, har ingeniører henvendt sig til granitmaterialer for at opfylde disse kritiske krav.
Post tid: Mar-19-2024