Granitmaterialer anvendes i vid udstrækning i halvlederindustrien på grund af deres fremragende egenskaber, såsom høj stabilitet, lav termisk udvidelse og høj korrosionsbestandighed. Disse egenskaber gør granit til et ideelt materiale til at bygge højpræcisionskomponenter i et waferoverføringssystem.
I halvlederfremstillingsprocessen spiller waferoverføringssystemet en afgørende rolle i transporten af wafere på tværs af forskellige stadier af fremstillingsprocessen. Præcision og nøjagtighed er de væsentlige krav til disse systemer, da selv små afvigelser kan bringe hele processen i fare. Derfor skal komponenterne i waferoverføringssystemet være fremstillet af materialer af høj kvalitet, og granit opfylder disse kriterier.
Nogle dele af waferoverføringssystemet, der er lavet af granitmaterialer, omfatter:
1. Vakuumspænderbord
Vakuumspændebordet bruges til at holde waferen under processen, og det skal have en stabil overflade for at sikre, at waferen ikke beskadiges. Granit er et ideelt materiale til fremstilling af dette bord, fordi det har en flad, ikke-porøs overflade, der giver høj stabilitet og præcision. Derudover har granit en lav termisk udvidelseskoefficient, hvilket gør det modstandsdygtigt over for temperaturændringer, der kan forårsage dimensionsændringer i waferen.
2. Luftbærende trin
Luftlagretrinnet bruges til at transportere waferen gennem forskellige trin i fremstillingsprocessen. Trinnet er konstrueret til at give en friktionsfri bevægelse, hvilket kræver høj præcision og stabilitet. Granit anvendes i denne applikation, fordi det er en stiv og hård sten, og den modstår deformation og slid over tid.
3. Lineære bevægelsesføringer
De lineære bevægelsesføringer bruges til at styre det luftbærende trin, og de skal placeres præcist for at minimere fejl. Granit bruges til at bygge denne føring, fordi den har fremragende mekanisk stabilitet og styrke. Materialet er også korrosionsbestandigt, hvilket sikrer føringssystemets lange levetid.
4. Måleudstyr
Måleudstyr bruges til at måle waferens dimensioner og egenskaber under fremstillingsprocessen. Granit er et ideelt materiale til at bygge dette udstyr, fordi det har høj stivhed, lav ekspansion og minimal deformation under belastning. Desuden sikrer granits termiske stabilitet, at måleudstyret forbliver stabilt og nøjagtigt over tid.
Afslutningsvis er halvlederindustrien afhængig af præcision og nøjagtighed, og granitmaterialer har vist sig at være yderst pålidelige og stabile i fremstillingsprocessen. Da mange kritiske komponenter i waferoverføringssystemet kræver høj stabilitet, præcision og lav termisk udvidelse, har ingeniører vendt sig mod granitmaterialer for at opfylde disse kritiske krav.
Opslagstidspunkt: 19. marts 2024