Granitmaterialer er vidt brugt i halvlederindustrien på grund af deres fremragende egenskaber, såsom høj stabilitet, lav termisk ekspansion og høj modstand mod korrosion. Disse egenskaber gør granit til et ideelt materiale til opbygning af højpræcisionskomponenter i et skiveoverførselssystem.
I halvlederfremstillingsprocessen spiller skiveoverførselssystemet en kritisk rolle i transport af skiver på tværs af forskellige stadier af fremstillingsprocessen. Præcision og nøjagtighed er de væsentlige krav til disse systemer, da endda lette afvigelser kunne bringe hele processen i fare. Derfor skal komponenter i skiveoverførselssystemet være lavet af materialer af høj kvalitet, og granit opfylder disse kriterier.
Nogle dele af skiveoverførselssystemet, der er fremstillet af granitmaterialer, inkluderer:
1. Vakuumchuck -bord
Vakuumchuck -bordet bruges til at holde skiven under processen, og den skal have en stabil overflade for at sikre, at skiven ikke er beskadiget. Granit er et ideelt materiale til fremstilling af denne tabel, fordi det har en flad, ikke-porøs overflade, der giver høj stabilitet og præcision. Derudover har granit en lav koefficient for termisk ekspansion, hvilket gør den modstandsdygtig over for temperaturændringer, der kan forårsage dimensionelle ændringer i skiven.
2. luftbærende scene
Det luftbærende trin bruges til at transportere skiven gennem forskellige stadier af fremstillingsprocessen. Scenen er konstrueret til at give en friktionsfri bevægelse, som kræver høj præcision og stabilitet. Granit bruges i denne applikation, fordi det er en stiv og hård sten, og det modstår deformation og slid over tid.
3. lineære bevægelsesguider
De lineære bevægelsesguider bruges til at guide det luftbærende trin, og de skal være nøjagtigt placeret for at minimere fejl. Granit bruges til at opbygge denne guide, fordi den har fremragende mekanisk stabilitet og styrke. Materialet er også korrosionsbestandigt, hvilket sikrer ledelsessystemets levetid.
4. Metrology Equipment
Metrologiudstyr bruges til at måle skivens dimensioner og egenskaber under fremstillingsprocessen. Granit er et ideelt materiale til bygning af dette udstyr, fordi det har høj stivhed, lav ekspansion og minimal deformation under belastning. Desuden sikrer Granites termiske stabilitet, at metrologiudstyret forbliver stabilt og præcist over tid.
Afslutningsvis er halvlederindustrien afhængig af præcision og nøjagtighed, og granitmaterialer har vist sig at være meget pålidelige og stabile i fremstillingsprocessen. Med mange kritiske komponenter i skiveroverførselssystemet, der kræver høj stabilitet, præcision og lav termisk ekspansion, har ingeniører henvendt sig til granitmaterialer for at imødekomme disse kritiske krav.
Posttid: Mar-19-2024