I halvleder- og optoelektronisk produktionsudstyr anvendes granit hovedsageligt i nøgledele såsom præcisionsbevægelsesplatforme, styreskinnebaser, vibrationsisolerende støttestrukturer og installationssubstrater til optiske komponenter. Disse dele har ekstremt høje krav til præcision, stabilitet og miljøtolerance. Granittens egenskaber kan præcist opfylde de strenge krav fra halvleder- og optoelektronisk industri. Følgende er en analyse af specifikke anvendelsesscenarier og fordele:
I. Hovedanvendelsesdele
Præcisionsbevægelsesplatforme (såsom waferplatforme til fotolitografimaskiner og bondingmaskiner)
Den bruges til at bære præcisionskomponenter såsom wafere og optiske linser, og opnår translations- og rotationsbevægelser med nanoskala-nøjagtighed.
Typisk udstyr: emnebord på fotolitografimaskine, positioneringsplatform på måleudstyr.
Styreskinnebase og rammestruktur
Som installationsbase for lineære føringer og luftflotationsføringer understøtter den udstyrets kernebevægelsesmekanisme.
Typisk udstyr: mekaniske rammer til halvlederpakningsudstyr og optiske inspektionsinstrumenter.
Vibrationsisolerende støtte og stabiliserende struktur
Det bruges til at isolere eksterne vibrationer (såsom vibrationer fra fabriksgulvet eller under udstyrsdrift) og sikre stabiliteten af optiske systemer eller præcisionsmaskiner.
Typiske scenarier: Basisunderstøttelse af optiske mikroskoper og laserinterferometre.
Monteringssubstrat for optisk komponent
Fastgør optiske enheder såsom spejle, prismer og lasere for at sikre langsigtet stabilitet af justeringsnøjagtigheden af det optiske banesystem.
Typisk udstyr: Optoelektronisk pakningsudstyr, optiske fiberkoblingssystemer.
Opslagstidspunkt: 29. maj 2025