Granitmaskinbaser anvendes i vid udstrækning i waferbehandlingsudstyr på grund af deres overlegne egenskaber såsom høj stivhed, stabilitet og præcision. Samling, testning og kalibrering af en granitmaskinbase er en kritisk proces, der kræver den største opmærksomhed på detaljer, præcision og nøjagtighed. I denne artikel vil vi diskutere den trinvise proces med at samle, teste og kalibrere en granitmaskinbase til waferbehandlingsudstyr.
Samling
Det første trin er at forberede granitoverfladepladen, basen og søjlen til montering. Sørg for, at alle overflader er rene, tørre og fri for snavs, støv eller olie. Indsæt nivelleringsstifterne i basen, og placer overfladepladen oven på den. Juster nivelleringsstifterne, så overfladepladen er vandret og i vater. Sørg for, at overfladepladen flugter med basen og søjlen.
Installer derefter søjlen på basen og fastgør den med bolte. Brug en momentnøgle til at stramme boltene til producentens anbefalede momentværdi. Kontroller søjlens niveau, og juster nivelleringsboltene om nødvendigt.
Til sidst monteres spindelenheden øverst på søjlen. Brug en momentnøgle til at stramme boltene til producentens anbefalede momentværdi. Kontroller spindelenhedens niveau, og juster nivelleringsboltene om nødvendigt.
Testning
Efter montering af maskinbasen er næste trin at teste dens funktionalitet og nøjagtighed. Tilslut strømforsyningen, og tænd maskinen. Sørg for, at alle komponenter såsom motorer, gear, remme og lejer fungerer korrekt og uden unormaliteter eller usædvanlige lyde.
For at teste maskinens nøjagtighed skal du bruge en præcisionsmåler til at måle spindelens kast. Placer måleren på overfladepladen, og drej spindlen. Det maksimalt tilladte kast skal være mindre end 0,002 mm. Hvis kast er større end den tilladte grænse, skal du justere nivelleringsstifterne og kontrollere igen.
Kalibrering
Kalibrering er det afgørende trin i at sikre maskinbasens nøjagtighed og præcision. Kalibreringsprocessen involverer test og justering af maskinens parametre, såsom hastighed, positionering og nøjagtighed, for at sikre, at maskinen opfylder producentens specifikationer.
For at kalibrere maskinen skal du bruge et kalibreringsværktøj, som inkluderer et laserinterferometer, en lasertracker eller en ballbar. Disse værktøjer måler maskinens bevægelse, position og justering med høj nøjagtighed.
Start med at måle maskinens lineære og vinkelakser. Brug kalibreringsværktøjet til at måle maskinens bevægelse og position over en bestemt afstand eller vinkel. Sammenlign de målte værdier med producentens specifikationer. Hvis der er afvigelser, skal du justere maskinens parametre, såsom motorer, gear og drev, for at bringe de målte værdier inden for de tilladte grænser.
Test derefter maskinens cirkulære interpolationsfunktion. Brug kalibreringsværktøjet til at oprette en cirkulær bane og mål maskinens bevægelse og position. Sammenlign igen de målte værdier med producentens specifikationer, og juster parametrene om nødvendigt.
Til sidst testes maskinens repeterbarhed. Mål maskinens position på forskellige punkter over en bestemt periode. Sammenlign de målte værdier, og kontroller for eventuelle afvigelser. Hvis der er afvigelser, skal maskinens parametre justeres, og testen gentages.
Konklusion
Samling, testning og kalibrering af en granitmaskinebase til waferbehandlingsudstyr er en kritisk proces, der kræver tålmodighed, sans for detaljer og præcision. Ved at følge disse trin kan du sikre, at maskinen opfylder producentens specifikationer og fungerer med nøjagtighed, stabilitet og præcision.
Opslagstidspunkt: 28. dec. 2023