II halvlederindustrien er nøjagtigheden af waferinspektionsudstyr afgørende for at sikre kvaliteten af integrerede kredsløb. Højpræcisions-granit-maskinbaser, som dem fra ZHHIMG®, spiller en afgørende rolle i at forbedre ydeevnen af sådant udstyr. Sådan gør de en forskel.
Enestående dimensionsstabilitet Granit har en ekstremt lav termisk udvidelseskoefficient på omkring (4–8) × 10⁻⁶/℃, hvilket er betydeligt lavere end mange metaller. I det tæt kontrollerede miljø i halvlederfabrikker, hvor selv mindre temperaturudsving kan forårsage målefejl, forbliver granitmaskinernes baser stabile. Denne stabilitet sikrer, at placeringen af komponenter i waferinspektionsudstyr forbliver nøjagtig, hvilket forhindrer termisk inducerede afvigelser, der kan påvirke præcisionen af inspektionsresultaterne.
Overlegen vibrationsdæmpningProduktionsgulve er ofte fyldt med vibrationer fra forskellige kilder. Granits iboende dæmpningsegenskaber, med et dæmpningsforhold på 0,05-0,1, absorberer og afleder effektivt disse vibrationer. Til waferinspektion
I forbindelse med udførelse, der kræver billeddannelse i høj opløsning og præcise sensoraflæsninger, er reduktionen af vibrationer, som granitbaser giver, uvurderlig. Det minimerer interferens, der kan sløre billeder eller forvrænge sensordata, hvilket gør det muligt for udstyret at indfange klare og præcise oplysninger om waferens overflade og indre struktur.
Høj stivhed og slidstyrke Med en densitet på cirka 3100 kg/m³ tilbyder ZHHIMG®'s granitmaskinbaser bemærkelsesværdig stivhed. De kan understøtte de tunge komponenter i waferinspektionsudstyr uden at deformere, hvilket opretholder justeringen af optiske og mekaniske systemer. Derudover sikrer granittens høje hårdhed (Mohs-skala 6-7) og fremragende slidstyrke, at overfladen på maskinbasen forbliver flad og glat over tid. Denne konsistens er afgørende for langvarig nøjagtighed, da ethvert slid eller deformation på basen gradvist kan forringe udstyrets præcision.
Kemisk inertitetHalvlederfremstilling indebærer eksponering for forskellige kemikalier. Granits kemiske inertitet gør den modstandsdygtig over for korrosion fra disse stoffer. Denne egenskab beskytter maskinbasens integritet og forhindrer kemisk forårsagede skader, der kan påvirke inspektionsudstyrets stabilitet og nøjagtighed.
Afslutningsvis er højpræcisions-granitmaskinbaser ikke blot en komponent, men en nøglefaktor til at opnå de høje nøjagtighedskrav til waferinspektionsudstyr. Når du vælger granitmaskinbaser, skal du vælge pålidelige leverandører som ZHHIMG®. Med flere certificeringer og en forpligtelse til kvalitet sikrer ZHHIMG®, at hver granitmaskinbase leverer den pålidelighed og ydeevne, der er nødvendig for avanceret halvlederproduktion.
Opslagstidspunkt: 3. juni 2025