Inden for halvlederfremstilling er præcision på submikronniveau nøglen til at sikre chips ydeevne, og (ZHHIMG®) granitbasen er med dens materialegenskaber, præcise forarbejdning og innovative design blevet den centrale garanti for at opnå denne præcision.
Fra et materialegenskabsperspektiv har den sorte granit, som ZHHIMG® har valgt, en densitet på cirka 3100 kg/m³ med en tæt indre struktur. Denne høje densitet giver den enestående stabilitet og stivhed. Under drift af halvlederudstyr vil motorernes rotation og bevægelsen af mekaniske komponenter inde i udstyret generere vibrationer. Granitbasen kan effektivt absorbere over 90% af vibrationsenergien, hvilket reducerer vibrationernes påvirkning på udstyrets nøjagtighed betydeligt. Samtidig gør dens ekstremt lave termiske udvidelseskoefficient det muligt at holde deformationen inden for et meget lille område, når omgivelsestemperaturen svinger, hvilket giver et stabilt støttefundament for halvlederudstyr og forhindrer forskydning af udstyrskomponenter på grund af temperaturændringer, hvilket kan påvirke nøjagtigheden.
Med hensyn til forarbejdning og fremstilling anvender ZHHIMG®-fabrikken internationalt avanceret forarbejdningsudstyr og har fire superstore slibemaskiner (hver maskine koster over 500.000 USD), som kan udføre højpræcisionsslibning af granit. Gennem fem-akset CNC-bearbejdning og andre processer kan maskinbasens fladhed nå nanometerniveau, hvilket giver en ultraflad referenceoverflade til installation af halvlederudstyr og sikrer præcis positionering af hver komponent i udstyret. Desuden giver værkstedet med konstant temperatur og fugtighed (dækker et areal på 10.000 kvadratmeter) et stabilt miljø til forarbejdningen. De 500 mm brede og 2000 mm dybe antivibrationsgrave omkring det, samt de lydløse kraner, isolerer effektivt ekstern vibrationsforstyrrelse og sikrer maskinbasens bearbejdningsnøjagtighed.
Derudover har ZHHIMG® også en stærk tilpasningsevne. For at opfylde de særlige krav til halvlederudstyr kan præcise installationshuller og kabelbakker præfabrikeres for at opnå perfekt kompatibilitet mellem udstyret og basen. Samtidig inspiceres og kalibreres maskinbasen strengt i kombination med metrologi- og testudstyr i verdensklasse, såsom den tyske Mahr-minutmåler (med en nøjagtighed på 0,5 µm) og det schweiziske elektroniske WYLER-niveau, for at sikre, at hver maskinbase kan opfylde de strenge krav til halvlederudstyrs nøjagtighed på submikronniveau.
Det er netop kombinationen af disse fordele, der gør ZHHIMG®-granitbasen til et pålideligt valg til at opnå præcision på submikronniveau i halvlederudstyr, hvilket hjælper halvlederproduktionen med at bevæge sig mod områder med højere præcision.
Opslagstidspunkt: 18. juni 2025