I den præcise verden af halvlederproduktion er ikke-destruktiv testning af wafere et vigtigt led i at sikre chipsens kvalitet. Den tilsyneladende ubetydelige granitbase er faktisk den "usungne helt", der bestemmer detektionsnøjagtigheden. Hvordan i alverden påvirker det testresultaterne? Denne artikel vil foretage en dybdegående analyse ud fra dimensioner som materialeegenskaber og strukturelt design.
1. Stabilt fundament: Granits naturlige fordele danner et solidt fundament for præcision
1. Fremragende seismisk ydeevne
Under drift af det ikke-destruktive testudstyr til wafers vil motorens rotation og bevægelsen af mekaniske komponenter generere vibrationer. Hvis disse vibrationer ikke undertrykkes effektivt, vil de alvorligt påvirke testens nøjagtighed. Granittens indre er tæt sammenflettet med mineralkrystaller som kvarts og feldspat. Dens unikke struktur giver den en naturlig vibrationsabsorptionskapacitet, der er i stand til at absorbere over 90% af udstyrets vibrationsenergi. De faktiske måledata fra en bestemt halvlederproducent viser, at efter brug af granitbasen er vibrationsamplituden for detektionsudstyret blevet reduceret fra 12 μm til 2 μm, hvilket effektivt undgår afvigelser i detektionssignalet forårsaget af vibrationer.
2. Ekstremt lav termisk udvidelseskoefficient
Under detektionsprocessen vil faktorer som opvarmning af udstyret og ændringer i omgivelsestemperaturen påvirke maskinbasens stabilitet. Almindelige materialer udvider sig betydeligt ved opvarmning, men granits termiske udvidelseskoefficient er kun 1/5 af ståls. Selv hvis omgivelsestemperaturen svinger med 10 ℃, kan dens deformation ignoreres. Dette gør det muligt for granitbasen at fungere som en stabil referenceplatform for inspektionsudstyret, hvilket sikrer, at den relative position mellem inspektionssonden og waferen forbliver nøjagtig til enhver tid, og undgår inspektionsfejl forårsaget af termisk deformation.
For det andet, præcist design: Strukturel optimering forbedrer yderligere pålideligheden af detektionen
Højpræcisionsbehandling og garanti for planhed
Granitbasen af høj kvalitet er bearbejdet med avanceret fem-akset CNC-teknologi med en planhed på ±0,5 μm/m, hvilket giver en ultraflad installationsreference for inspektionsudstyr. Ved waferinspektion er inspektionssondens vertikalitet og niveau afgørende for inspektionsresultaterne. En granitbase med høj præcision kan sikre sondens præcise positionering, hvilket gør inspektionsdataene mere nøjagtige og pålidelige.
2. Tilpasset strukturel tilpasning
Granitmaskinbaser kan tilpasses til forskellige ikke-destruktive wafer-testudstyr og proceskrav. For eksempel kan overfladen på maskinbasen specialbehandles for at opfylde kravene til lysrefleksion i optisk inspektionsudstyr. For at opfylde installationskravene til ultralydstestudstyr kan basen præfabrikeres med præcise installationshuller og kabelbakker, hvilket muliggør hurtig og præcis installation af udstyret og reducerer detektionsafvigelser forårsaget af installationsfejl.
III. Langsigtet stabilitet: Reducer præcisionstab forårsaget af vedligeholdelse af udstyr
Granit har høj hårdhed og stærk slidstyrke med en Mohs-hårdhed på 6 til 7, hvilket er tre gange slidstyrken for almindeligt stål. Under langvarige inspektionsoperationer er overfladen på maskinbasen ikke tilbøjelig til slid og kan altid opretholde en god præcisionstilstand. I modsætning hertil kan baser lavet af andre materialer forårsage ændringer i udstyrets installationsreference på grund af slid, hvilket påvirker detektionsnøjagtigheden og kræver hyppig kalibrering og vedligeholdelse. Granitbasens lange levetid og høje stabilitet reducerer effektivt hyppigheden af udstyrsvedligeholdelse og mindsker risikoen for præcisionstab, der kan opstå under vedligeholdelsesprocessen.
Fra stødmodstand og varmemodstand til præcist design sikrer alle funktioner ved granitbasen nøjagtigheden af ikke-destruktiv testning af wafere. I dagens æra af halvlederproduktion, der stræber efter ultimativ præcision, er valget af en granitbase af høj kvalitet som at tilføje et solidt lag af forsikring til nøjagtigheden og pålideligheden af testresultaterne.
Opslagstidspunkt: 18. juni 2025