Inden for halvlederproduktion er waferskæring en afgørende proces, der kræver yderst præcision. Valget af materiale til udstyrsbasen påvirker ydeevnen betydeligt. Lad os sammenligne granit med andre almindelige materialer for at se, hvorfor det ofte er bedst egnet til waferskæreudstyr.
Granit: Et snit over resten
Stabilitet: Granit, med en densitet på omkring 3100 kg/m³, ligesom ZHHIMG®s tilbud, giver enestående stabilitet. Dens stabile struktur minimerer vibrationer under waferskæringsprocessen. I modsætning hertil kan materialer som aluminium være mere tilbøjelige til at bevæge sig under belastningen ved højhastighedsskæring. Denne stabilitet sikrer, at skæreværktøjet forbliver præcist positioneret, hvilket resulterer i præcise snit og wafere af høj kvalitet.
Termisk modstand: Granit har en lav termisk udvidelseskoefficient. Ved waferskæring, hvor temperaturudsving kan forekomme på grund af varmen, der genereres under skæreprocessen eller fremstillingsmiljøet, er granits termiske stabilitet en fordel. Den udvider eller trækker sig ikke væsentligt sammen med temperaturændringer, hvilket opretholder skæreudstyrets justering. Metaller som stål kan derimod opleve mere betydelig termisk udvidelse, hvilket potentielt kan føre til forkert justering og unøjagtige snit.
Vibrationsdæmpning: Granits naturlige vibrationsdæmpende egenskaber er bemærkelsesværdige. Under waferskæring kan vibrationer få skæreværktøjet til at afvige fra sin tilsigtede bane, hvilket fører til afskalning eller ujævne snit. Granit absorberer og afleder effektivt disse vibrationer, hvilket skaber en mere jævn skæreoperation. Materialer som plastbaserede kompositter mangler denne iboende vibrationsdæmpende evne, hvilket gør dem mindre egnede til højpræcisionswaferskæring.
Sammenligning med støbejern
Støbejern har traditionelt været et valg til maskinbaser. Det har dog sine begrænsninger i forhold til granit. Selvom støbejern tilbyder en vis stabilitet, er det tungere end granit i forhold til dets styrke. Denne ekstra vægt kan give udfordringer under installation og flytning af udstyr. Derudover er støbejern mere modtageligt for korrosion over tid, især i halvlederproduktionsmiljøer, hvor kemikalier kan være til stede. Granit, som er kemisk inert, lider ikke af dette problem, hvilket sikrer langvarig holdbarhed og pålidelighed.
Argumentet mod marmor
Nogle vil måske betragte marmor som et alternativ, men det er på mange måder utilstrækkeligt til waferskæreudstyr. Marmor har en lavere densitet og er generelt mindre stabilt end granit. Det er også mere porøst, hvilket kan gøre det sårbart over for skader fra fugt og kemikalier i produktionsmiljøet. Ved waferskæring, hvor præcision og holdbarhed er afgørende, lever marmors fysiske egenskaber ikke op til kravene lige så godt som granit.
Afslutningsvis skiller granit, især granit af høj kvalitet som den, der tilbydes af ZHHIMG®, sig ud, når det kommer til at vælge et materiale til baser til waferskæreudstyr. Dens stabilitet, termiske modstand og vibrationsdæmpende egenskaber gør den til det optimale valg til at opnå den høje præcision, der kræves til skæring af halvlederwafere. Selvom der findes andre materialer, giver granits unikke kombination af egenskaber den en klar fordel i denne krævende anvendelse.
Opslagstidspunkt: 3. juni 2025