I halvlederproduktionsværkstedet er kravene til chipproduktionsprocessen for miljøforhold og udstyrets nøjagtighed ekstreme, og enhver lille afvigelse kan føre til et betydeligt fald i chipudbyttet. XYZT-præcisionsportalbevægelsesplatformen er afhængig af granitkomponenter, der samarbejder med andre dele af platformen for at opbygge et solidt fundament for at opnå nanoskala-nøjagtighed.
Fremragende vibrationsblokerende egenskaber
I halvlederproduktionsværksteder kan betjening af perifert udstyr og personale, der går rundt, forårsage vibrationer. Den indre struktur af granitkomponenter er tæt og ensartet med naturlige høje dæmpningsegenskaber, som en effektiv vibrations"barriere". Når den eksterne vibration overføres til XYZT-platformen, kan granitkomponenten effektivt dæmpe mere end 80% af vibrationsenergien og reducere vibrationers forstyrrelser i platformens bevægelsesnøjagtighed. Samtidig er platformen udstyret med et højpræcisionsluftflydestyringssystem, der fungerer sammen med granitkomponenterne. Luftflydestyringen bruger den stabile gasfilm dannet af højtryksgas til at realisere den kontaktløse ophængningsbevægelse af platformens bevægelige dele og reducere de små vibrationer forårsaget af mekanisk friktion. Sammen sikrer de to, at platformens positioneringsnøjagtighed altid opretholdes på nanometerniveau i nøgleprocesser som chiplitografi og ætsning, og undgår afvigelser i chipkredsløbsmønstre forårsaget af vibrationer.
Fremragende termisk stabilitet
Temperatur- og fugtighedsudsving i værkstedet har stor indflydelse på nøjagtigheden af chipproduktionsudstyr. Granits termiske udvidelseskoefficient er meget lav, generelt 5-7 × 10⁻⁶/℃, og størrelsen forbliver næsten uændret, når temperaturen ændrer sig. Selv hvis temperaturforskellen mellem dag og nat i værkstedet eller udstyrets varmeproduktion forårsager udsving i den omgivende temperatur, kan granitkomponenterne forblive stabile for at forhindre deformation af platformen på grund af termisk udvidelse og sammentrækning. Samtidig overvåger det intelligente temperaturstyringssystem, der er udstyret med platformen, den omgivende temperatur i realtid, justerer automatisk klimaanlægget og varmeafledningsudstyret og holder værkstedstemperaturen på 20 °C ±1 °C. Kombineret med fordelene ved granits varmestabilitet sikres det, at platformen under langvarig drift altid opfylder bevægelsesnøjagtigheden for hver akse chipproduktionens nanometerpræcisionsstandarder for at sikre, at chiplitografimønsterets størrelse er nøjagtig, og ætsningsdybden er ensartet.
Opfyld behovene for et rent miljø
Halvlederproduktionsværkstedet skal opretholde en høj grad af renlighed for at forhindre støvpartikler i at forurene chippen. Granitmaterialet i sig selv producerer ikke støv, og overfladen er glat og absorberer ikke let støv. Platformen som helhed anvender et fuldt lukket eller halvlukket strukturdesign for at reducere indtrængen af eksternt støv. Det interne luftcirkulationssystem er forbundet med værkstedets rene klimaanlæg for at sikre, at den interne luftrenhed når det niveau, der kræves til chipproduktion. I dette rene miljø vil granitkomponenter ikke påvirke ydeevnen på grund af støverosion, og nøglekomponenter som højpræcisionssensorer og motorer på platformen kan også fungere stabilt, hvilket giver kontinuerlig og pålidelig garanti for nanoskala-nøjagtighed til chipproduktion og hjælper halvlederindustrien med at bevæge sig til et højere procesniveau.
Opslagstidspunkt: 14. april 2025