Inden for halvlederfremstilling er fotolitografimaskinen en nøgleenhed, der bestemmer præcisionen af chips, og granitbasen er med dens mange egenskaber blevet en uundværlig komponent i fotolitografimaskinen.
Termisk stabilitet: "Skjoldet" mod temperaturændringer
Når en fotolitografimaskine er i drift, genererer den en stor mængde varme. Selv en temperaturudsvingning på kun 0,1 ℃ kan forårsage deformation af udstyrets komponenter og påvirke fotolitografiens nøjagtighed. Granits termiske udvidelseskoefficient er ekstremt lav, kun 4-8 × 10⁻⁶/℃, hvilket er cirka 1/3 af ståls og 1/5 af aluminiumslegeringens. Dette gør det muligt for granitbasen at opretholde dimensionsstabilitet, når fotolitografimaskinen er i drift i lang tid, eller når omgivelsestemperaturen ændrer sig, hvilket sikrer præcis positionering af optiske komponenter og mekaniske strukturer.
Super antivibrationsydelse: "Svampen", der absorberer vibrationer
I en halvlederfabrik kan driften af omgivende udstyr og bevægelse af mennesker generere vibrationer. Granit har en høj densitet og en hård tekstur, og den har fremragende dæmpningsegenskaber med et dæmpningsforhold, der er 2 til 5 gange så højt som metallers. Når eksterne vibrationer overføres til granitbasen, omdanner friktionen mellem de indre mineralkrystaller vibrationsenergien til varmeenergi til afledning, hvilket kan reducere vibrationerne betydeligt på kort tid, så fotolitografimaskinen hurtigt kan genoprette stabiliteten og undgå sløring eller forskydning af fotolitografimønsteret på grund af vibrationer.
Kemisk stabilitet: "Vogteren" af et rent miljø
Det indre af en fotolitografimaskine kommer i kontakt med forskellige kemiske medier, og almindelige metalmaterialer er tilbøjelige til korrosion eller frigivelse af partikler. Granit er sammensat af mineraler som kvarts og feldspat. Det har stabile kemiske egenskaber og stærk korrosionsbestandighed. Efter at være blevet gennemvædet i syre- og alkaliopløsninger er overfladekorrosionen ekstremt lille. Samtidig genererer dens tætte struktur næsten intet snavs eller støv, hvilket opfylder kravene i de højeste renrumsstandarder og reducerer risikoen for waferkontaminering.
Processeringstilpasningsevne: Det "ideelle materiale" til at skabe præcise benchmarks
Kernekomponenterne i fotolitografimaskinen skal installeres på en højpræcisionsreferenceoverflade. Granittens indre struktur er ensartet, og den er nem at bearbejde med ekstremt høj præcision gennem slibning, polering og andre teknikker. Dens fladhed kan nå ≤0,5 μm/m, og overfladeruheden Ra er ≤0,05 μm, hvilket giver et præcist installationsgrundlag for komponenter som optiske linser.
Lang levetid og vedligeholdelsesfri: De "skarpe værktøjer" til omkostningsreduktion
Sammenlignet med metalmaterialer, der er tilbøjelige til træthed og revner ved langvarig brug, undergår granit næsten ikke plastisk deformation eller brud under normale belastninger, og det kræver ikke overfladebehandling, hvilket undgår risikoen for afskalning og kontaminering af belægningen. I praktiske anvendelser kan granitbasens nøglepræstationsindikatorer stadig forblive stabile efter mange års brug, hvilket reducerer udstyrets drifts- og vedligeholdelsesomkostninger.
Fra termisk stabilitet og vibrationsmodstand til kemisk inertitet opfylder granitbasens mange egenskaber perfekt kravene til fotolitografimaskiner. I takt med at chipfremstillingsprocessen fortsætter med at udvikle sig mod højere præcision, vil granitbaser fortsat spille en uerstattelig rolle inden for halvlederfremstilling.
Udsendelsestidspunkt: 20. maj 2025