Inden for grooving af halvlederwafere er præcision livsnerven. En upåfaldende granitbase kan give et kvalitativt spring i groovingudstyrets ydeevne! Hvilke "superkræfter" skjuler den egentlig? Hvorfor siges det, at valget af den rigtige granitbase betyder, at du er nået halvvejs? I dag vil vi vise dig det i dybden!
I. Iboende styrke: De tre "iboende fordele" ved granit
Den seismiske modstand er lige så stabil som Tai-bjerget
Granit har en densitet på op til 2.800-3.100 kg/m³, og dens struktur er lige så tæt som en "stenfæstning". I det højfrekvente vibrationsmiljø, der anvendes ved waferrillning (udstyret riller over 100 gange i minuttet), kan det absorbere mere end 90% af vibrationsenergien, ligesom når udstyret er udstyret med "stødabsorberende sort teknologi"! De målte data fra en bestemt chipfabrik viser, at efter brug af granitbasen er jitteramplituden på rillehovedet faldet fra 15 μm til 3 μm, og kanterne af de udskårne mikroriller er lige så glatte som et spejl.
2. "Varmebestandig konstitution" Uforfærdet over temperaturforskelle
Almindelige materialer "udvider sig og deformeres", når de opvarmes, og "trækker sig sammen og deformeres", når de afkøles, men granits termiske udvidelseskoefficient er så lav som 4-8 × 10⁻⁶/℃, hvilket kun er 1/5 af metallers! Selv hvis temperaturen i værkstedet svinger kraftigt med 10℃ inden for 24 timer, er dens deformation mindre end 0,01 mm og kan næsten ignoreres. Det betyder, at uanset skiftet mellem dag og nat eller udstyrets langvarige drift og varmeudvikling, kan granitbasen holde slidsens position "bevægelig" hele tiden.
3. Uopslidelig slidstyrke
Granits Mohs-hårdhed når 6 til 7, hvilket kan sammenlignes med kvartssten, og dens slidstyrke er tre gange så høj som almindeligt stål! Under den langvarige højfrekvente friktion fra waferrillerne slides overfladen af basen næsten ikke. Efter at et bestemt støberi havde brugt granitbaser i fem år, blev fladheden stadig opretholdt inden for ±0,5 μm/m ved inspektion, og rillepræcisionen forblev konstant, hvilket sparede en betydelig mængde udstyrskalibrerings- og udskiftningsomkostninger.
Ii. Præcis tilpasning: Hvordan opfylder granit forskellige krav til rillefræsning?
Scene 1: Ultrafin rilning (mikroriller under 10 μm)
Krav: Ultimativ fladhed
Fordele ved granit: Gennem fem-akset kobling med høj præcisionsbearbejdning kan planheden kontrolleres inden for ±0,5 μm/m, hvilket betyder, at højdefejlen på en længde på 1 meter er 200 gange tyndere end et menneskehår! Sørg for, at afstanden mellem rillehovedet og waferen altid er præcis, og at breddefejlen på de udskårne mikroriller ikke overstiger ±0,1 μm.
Scene 2: Højhastigheds masseproduktionsrillning
Krav: Super stødabsorberende ydeevne
Fordele ved granit: Dens naturlige dæmpningsegenskaber kan hurtigt dæmpe udstyrsvibrationer. Efter at en bestemt pladefabrik introducerede granitbaser, steg rillehastigheden med 40%, og udbyttet steg fra 85% til 96%, hvilket opnåede en dobbelt høst af produktionseffektivitet og kvalitet!
Scene 3: Kompleks miljørillning (høj temperatur/korrosion)
Krav: Høj temperaturbestandighed og korrosionsbestandighed
Fordele ved granit: Ekstremt stærk kemisk stabilitet, modstandsdygtig over for syre- og alkalikorrosion; den har en lav termisk udvidelseskoefficient og deformeres ikke, selv ved høje lokale temperaturer (150 ℃) under laserrillning. En granitbase, der anvendes i et bestemt laboratorium med ætsende rilleopløsning, har været i kontinuerlig brug i tre år, og basens overflade forbliver intakt.
III. Hvordan vælger man en "ægte granitbase af høj kvalitet"?
Se på densiteten: Granit med en densitet på ≥2800 kg/m³ har en mere kompakt struktur.
Tjek certificeringer: Sørg for at anerkende autoritative certificeringer som ISO 9001 og CNAS for at sikre kvalitet.
Verifikationsdata: Producenten skal fremlægge testrapporter om termisk udvidelseskoefficient (< 8×10⁻⁶/℃) og planhed (±0,5 μm/m).
Test på stedet: Bank let på basen. En klar lyd indikerer, at der ikke er revner indeni. Hvis berøringsfladen er lige så glat som et spejl, indikerer det høj bearbejdningsnøjagtighed.
Konklusion: Vælg den rigtige granit og vind halvdelen af kampen i notfræsning!
Fra stødmodstand og varmemodstand til slidstyrke er granitbasen med sin "naturlige skønhed" og "hardcore-styrke" blevet den gyldne partner for wafer-rillingsudstyr. I dagens halvlederproduktionsæra, der stræber efter præcision på nanoskala, er en granitbase af høj kvalitet ikke kun en investering i udstyr, men også en langsigtet garanti for produktionseffektivitet og produktkvalitet!
Opslagstidspunkt: 17. juni 2025