Inden for avanceret produktion og banebrydende videnskabelig forskning er luftflyderens ultrapræcisionsbevægelsesmodul blevet et nøgleudstyr til finbetjening og måling med sin fremragende præcisionsydelse. Granitpræcisionsbasen, som bærende kerne, har strenge krav til arbejdsmiljøet, og de passende miljøforhold er grundlaget for at sikre dens stabile ydeevne og den bedste effekt.
Først, temperaturkontrol: præcisions"stabilisator"
Selvom granit er kendt for sin stabilitet, er den ikke fuldstændig immun over for temperaturændringer. Selvom dens termiske udvidelseskoefficient er lav, generelt 5-7 × 10⁻⁶/℃, kan subtile temperaturudsving i ultrapræcisionsbevægelseskontrolscenarier stadig forårsage dimensionsændringer og påvirke modulets nøjagtighed. I halvlederchips-produktionsværkstedet kræver litografiprocessen en positioneringsnøjagtighed på danami-niveau, og omgivelsestemperaturen svinger med 1 °C, og granitbasen med en sidelængde på 1 meter kan producere en lineær udvidelse eller sammentrækning på 5-7 mikron. Denne lille ændring transmitteres af luftflyderens ultrapræcisionsbevægelsesmodul, hvilket er nok til at forårsage en afvigelse i chips litografimønsteret og reducere udbyttet betydeligt. Derfor, udstyret med en præcisionsbase af granit til det flydende ultrapræcisionsbevægelsesmodul, bør den ideelle arbejdsmiljøtemperatur styres ved 20 °C ± 1 °C. Ved hjælp af højpræcisionsudstyr med konstant temperatur, såsom konstant temperatur og fugtighedsklimaanlæg, bør den omgivende temperatur kontinuerligt overvåges og justeres for at sikre, at temperaturudsvingene er i et meget lille område, at basens størrelse opretholdes stabilt og at modulet fungerer med høj præcision.
For det andet, fugtighedsstyring: nøglen til fugttæt beskyttelse af "sten"
Fugtighed er en anden vigtig faktor, der påvirker præcisionsgranitbasens ydeevne. I et miljø med høj luftfugtighed absorberer granit let vanddamp, hvilket kan føre til kondens på overfladen, hvilket ikke kun påvirker granittens forbindelsesstabilitet og luftflåderens ultrapræcisionsbevægelsesmodul, men også kan forårsage overfladeerosion og reducere glans og nøjagtighed i det lange løb. I optisk linseslibningsværksted, hvis fugtigheden er højere end 60% RF i lang tid, vil vanddampen, der absorberes på overfladen af granitbasen, forstyrre gasflåderens bevægelse, så linsens slibningsnøjagtighed reduceres, og overfladen bliver defekt. Derfor bør den relative luftfugtighed i arbejdsmiljøet kontrolleres strengt mellem 40%-60% RF, hvilket kan overvåges og justeres i realtid ved at installere affugtere, fugtighedssensorer og andet udstyr for at undgå skader på granitbasen på grund af høj luftfugtighed og sikre en problemfri drift af luftflåderens ultrapræcisionsbevægelsesmodul.
For det tredje, renlighedsgaranti: præcisionens "vogter"
Støvpartiklernes skadevirkning på præcisionsgranitbasen i ultrapræcisionsbevægelsesmodulet til luftflotation kan ikke undervurderes. Når de små partikler kommer ind i gasfilmspalten mellem gasflyderens skyder og granitbasen, kan de ødelægge gasfilmens ensartethed, øge friktionen og endda ridse basens overflade, hvilket resulterer i reduceret bevægelsesnøjagtighed. I ultrapræcisionsbearbejdningsværkstedet for flydele kan støvpartikler i luften falde på granitbasen, hvilket kan påvirke bearbejdningsværktøjets bevægelsesbane, hvilket påvirker delenes bearbejdningsnøjagtighed. Derfor skal arbejdsområdet holdes meget rent og nå et renhedsniveau på 10.000 eller højere ved at installere luftrensningsudstyr, såsom højeffektive luftfiltre (HEPA), der filtrerer støvpartikler i luften. Samtidig skal personalet bære støvfrit tøj, skoovertræk osv. for at reducere mængden af menneskelig støv. Oprethold et højpræcisionsdriftsmiljø for granitbasen og ultrapræcisionsbevægelsesmodulet til luftfloat.
Fire, vibrationsisolering: jævn drift af "stødpuden"
Den eksterne vibration er en fjende for præcisionen af luftflåderens ultrapræcisionsbevægelsesmodul. Selvom præcisionsgranitbasen har en vis vibrationsdæmpningsevne, kan den høje vibration stadig bryde dens buffergrænse. Vibrationerne, der genereres af trafikken omkring fabrikken og driften af stort mekanisk udstyr, overføres til granitbasen gennem jorden, hvilket vil forstyrre bevægelsesnøjagtigheden af luftflåderens ultrapræcisionsbevægelsesmodul. I avancerede CMM'er kan vibrationer forårsage ustabil kontakt mellem målesonden og det emne, der skal måles, hvilket resulterer i afvigelser i måledataene. For at løse dette problem er det nødvendigt at anvende effektive vibrationsisoleringsforanstaltninger, såsom at lægge vibrationsisoleringspuder i udstyrets installationsområde, bygge et vibrationsisoleringsfundament eller bruge et aktivt vibrationsisoleringssystem til aktivt at udligne eksterne vibrationer og skabe et roligt og stabilt arbejdsmiljø for granitpræcisionsbasen og luftflåderens ultrapræcisionsbevægelsesmodul.
Kun ved fuldt ud at opfylde miljøkravene til temperatur, fugtighed, renlighed og vibrationskontrol kan granitpræcisionsbasen i luftflyderens ultrapræcisionsbevægelsesmodul fuldt ud udnytte sine ydeevnefordele, give pålidelig garanti for ultrapræcisionsoperationer på forskellige områder og hjælpe industrien med at bevæge sig mod et højere niveau af præcisionsproduktion og videnskabelig forskning.
Opslagstidspunkt: 8. april 2025