Inden for præcisionsfremstilling og videnskabelig forskning er planheden af granitpræcisionsplatforme en nøgleindikator for at sikre udstyrets nøjagtighed. Følgende er en detaljeret introduktion til adskillige almindelige detektionsmetoder og deres driftsprocedurer.
I. Laserinterferometerdetektionsmetode
Laserinterferometeret er det foretrukne værktøj til højpræcisionsdetektion af planhed. Tag ZYGO GPI XP laserinterferometeret som et eksempel, hvis opløsning kan nå 0,1 nm. Når detektionen udføres, skal interferometerets lyskilde først justeres med platformen, og platformens overflade skal opdeles i gitterområder på 50 mm × 50 mm. Derefter blev interferensdataene indsamlet punkt for punkt, og dataene blev tilpasset og analyseret ved hjælp af Zernike-polynomiet for at bestemme planhedsfejlen. Denne metode kan anvendes til højpræcisionsplatforme og kan detektere planhedsfejl på ≤0,5 μm/m². Den bruges almindeligvis til detektion af fotolitografimaskiner og avancerede trekoordinatmåleplatforme.
II. Elektronisk niveauopstillingsmetode
Den elektroniske niveaudetektion er nem at betjene og yderst effektiv. Det elektroniske TESA A2-niveau (med en opløsning på 0,01 μm/m) blev valgt og arrangeret i et 9×9-array langs platformens X/Y-akseretning. Ved synkront at indsamle hældningsdata for hvert niveau og derefter bruge mindste kvadraters metode til beregning kan planhedsværdien opnås nøjagtigt. Denne metode kan effektivt identificere platformens lokale konkavitets- og konveksitetsforhold. For eksempel kan en udsving på 0,2 μm inden for et 50 mm-område også detekteres, hvilket er egnet til hurtig detektion i masseproduktion.
III. Optisk fladkrystalmetode
Den optiske flade krystalmetode er egnet til detektion af platforme med små arealer. Fastgør den optiske flade krystal tæt til den overflade, der skal testes, på platformen, og observer interferensfranserne, der dannes mellem dem under belysning af en monokromatisk lyskilde (såsom en natriumlampe). Hvis striberne er parallelle, lige striber, indikerer det god fladhed. Hvis der opstår buede striber, beregnes fladhedsfejlen baseret på graden af stribens krumning. Hver buet stribe repræsenterer en højdeforskel på 0,316 μm, og fladhedsdataene kan opnås ved simpel konvertering.
Fire. Inspektionsmetode for trekoordinatmålemaskine
Trekoordinatmålemaskinen kan opnå højpræcisionsmålinger i tredimensionelt rum. Placer granitplatformen på målemaskinens arbejdsbord, og brug sonden til ensartet at indsamle data fra flere målepunkter på platformens overflade. Målemaskinens system behandler og analyserer disse data for at generere en planhedsrapport for platformen. Denne metode kan ikke kun detektere planhed, men også indhente andre geometriske parametre for platformen samtidigt og er egnet til omfattende detektion af store granitplatforme.
At mestre disse detektionsmetoder kan hjælpe dig med præcist at vurdere fladheden af granitpræcisionsplatformen og give en pålidelig garanti for stabil drift af præcisionsudstyr.
Opslagstidspunkt: 29. maj 2025