Granitplatformen, som referenceværktøj til præcis måling og bearbejdning, påvirker dens nøjagtighedsvedligeholdelse direkte produktionskvaliteten. Følgende indeholder en systematisk vedligeholdelsesplan, der dækker miljøkontrol, daglig vedligeholdelse og professionel kalibrering for at sikre, at platformen opretholder en nøjagtighed på nanometerniveau i lang tid.
1. Miljøkontrol: Byg en præcisionsbeskyttelsesbarriere
Temperatur- og fugtighedsstyring
Arbejdsmiljøets temperatur skal stabiliseres ved 20 ± 1 ℃. Hver udsving på 1 ℃ vil forårsage termisk deformation af granitplatformen på 0,5-1 μm/m. Et konstant temperatursystem kan installeres i værkstedet for at forhindre, at klimaanlæggets udløb blæser direkte ned på platformen.
Luftfugtigheden bør kontrolleres mellem 40 % og 60 %. For høj luftfugtighed kan let forårsage rust på metaldele, mens for lav luftfugtighed kan føre til statisk elektricitetsforstyrrelser i målingen.
Vibrationsisolering
Platformen skal holdes væk fra vibrationskilder såsom stansemaskiner og fræsemaskiner. Det anbefales at holde en afstand på mere end 3 meter fra vibrationsudstyr.
Hvis vibrationer ikke kan undgås, kan der installeres luftfjederstøddæmpere i bunden af platformen for at reducere miljøvibrationers påvirkning af platformens planhed (hvilket kan reducere eksterne vibrationer med mere end 80%).
2. Daglig vedligeholdelse: Omhyggelig kontrol fra rengøring til beskyttelse
Specifikationer for overfladerengøring
Støvfjerning: Tør overfladen af med hjorteskind eller en fnugfri klud i samme retning hver dag for at forhindre støvpartikler (≥5μm) i at ridse platformen. Genstridige pletter kan forsigtigt tørres af med vandfri ethanol (renhed ≥99,7%). Stærke opløsningsmidler som acetone må ikke anvendes.
Affedtning: Hvis den kommer i kontakt med oliepletter, skal den tørres af med et fortyndet neutralt rengøringsmiddel, skylles derefter med demineraliseret vand og lufttørres for at forhindre mineralolie i at trænge ind i platformens små porer.
Last- og kollisionsbeskyttelse
Platformens bæreevne bør kontrolleres inden for 70% af den nominelle belastning (for eksempel anbefales det for en platform på 1000 kg, at belastningen er ≤700 kg) for at undgå permanent deformation forårsaget af lokal overbelastning.
Det er strengt forbudt at slå på arbejdsemner på platformen. Brug bløde handsker ved håndtering af værktøj for at forhindre skarpe genstande i at ridse overfladen (ridser med en dybde på mere end 20 μm vil påvirke målingen af den reflekterede lysstråle).
3. Professionel kalibrering: Kernen i videnskabelig opretholdelse af nøjagtighed
Indstilling af kalibreringscyklus
Konventionelle brugsscenarier: Kalibrer én gang hvert kvartal, og brug et laserinterferometer til at detektere planhed (med en nøjagtighed på ±0,5 μm/m).
Højfrekvent brug eller barske miljøer: Månedlig kalibrering med fokus på overvågning af temperaturfølsomme områder (f.eks. kanten af platformen nær varmekilder).
Efterkalibreringsbehandling
Hvis der konstateres en afvigelse i planheden (f.eks. > ±1μm/m), skal den slibes og repareres af en professionel tekniker med W1.5 mikropulver. Selvslibning med sandpapir er strengt forbudt.
Efter kalibrering bør data registreres og arkiveres, og en dæmpningskurve for platformens nøjagtighed bør etableres for at forudsige vedligeholdelsesbehov på forhånd.
4. Opbevaring og transport: Undgå skjult præcisionstab
Vigtige punkter for langtidsopbevaring
Ved opbevaring skal den dækkes med et fugttæt og støvtæt overtræk. Bunden skal understøttes af tre punkter (støttepunktet er placeret 2/9 af platformens længde) for at forhindre bøjningsdeformation forårsaget af tyngdekraften (en 1 meter platform kan synke med 0,3 μm på grund af langvarig enkeltpunktsunderstøttelse).
Flyt platformens støttepunkters position regelmæssigt (månedligt) for at undgå langvarigt lokalt tryk.
Transportbeskyttelsesplan
Kortdistancetransport: Indpak med stødabsorberende skum, fastgør i en stiv ramme, og hold accelerationen inden for 2 g.
Langdistancetransport: Den skal vakuumpakkes og fyldes med tør nitrogen. Efter ankomst skal den stå i 24 timer, indtil temperaturen når ligevægt, inden den pakkes ud, for at forhindre, at kondensvand påvirker nøjagtigheden.
5. Fejlforudsigelse: Teknikker til at identificere tidlige problemer
Visuel inspektion: Overfladen skal regelmæssigt observeres med et 40x forstørrelsesglas. Hvis der findes vedvarende ridser eller en betydelig reduktion i glans, kan det være tegn på en forringelse af nøjagtigheden.
Lydregistrering: Bank let på platformen. Hvis lyden bliver hæs (normalt bør det være en klar lyd), kan der være mikrorevner indeni. Stop straks med at bruge den til registrering.
Gennem dette vedligeholdelsessystem kan ZHHIMG®-granitplatformen opretholde en planhed på ±1 μm/m i 10 år, hvilket er mere end tre gange længere end præcisionslevetiden for platforme, der ikke vedligeholdes korrekt. Praksis har vist, at efter at en bestemt halvlederfabrik tog denne løsning i brug, blev hyppigheden af platformkalibrering reduceret med 50 %, og de årlige vedligeholdelsesomkostninger blev sparet med mere end 150.000 yuan.
Opslagstidspunkt: 18. juni 2025