En revolution inden for præcision i waferskæring! Hvordan opretholder man en ±5µm positionering for en granitbase?

I den ultimative kamp om "nanopræcision" inden for halvlederfremstilling kan selv den mindste fejl i waferskæreudstyr forvandle en chip til affald. Granitbasen er den ubesungne helt, der styrer ±5um gentagelsespositioneringsnøjagtigheden og omskriver reglerne for præcisionsfremstilling med sine tre naturlige vidundere.

"Stabiliseringsankeret" mod termisk deformation: Granits termiske udvidelseskoefficient er så lav som 5-7 × 10⁻⁶/℃, hvilket kun er en tredjedel af den for metalmaterialer. Under varmepåvirkningen genereret af waferskæreudstyrets højhastighedsdrift vil almindelige materialer deformeres på grund af termisk udvidelse og sammentrækning, hvilket får skærehovedets positionering til at forskydes. Granitbasen kan dog forblive "bevægelig", hvilket fundamentalt eliminerer positioneringsafvigelsen forårsaget af termisk deformation og lægger et solidt fundament for præcision.

Det "stille skjold" af vibrationsabsorption: Maskinværktøjernes konstante brølen og den kontinuerlige vibration fra udstyr i værkstedet kan betragtes som "dødelige dræbere" for præcision. Granits unikke krystalstruktur er som en naturlig støddæmper, der er i stand til hurtigt at omdanne eksterne vibrationer og mekaniske vibrationer genereret af udstyrets drift til varmeenergi til afledning. Mens andre baser stadig "svajer" på grund af vibrationer, har granitbasen skabt en stabil platform for skærehovedet, der forbliver ubevægeligt, hvilket muliggør en nøjagtighed på ±5 µm.

Korrosionsbestandig "Evig Fæstning": Halvlederværksteder er fyldt med ætsende stoffer såsom ætseopløsninger og syre- og alkaliske rengøringsmidler. I et sådant miljø vil metalbaser gradvist ruste og deformere. Granit, med sin iboende kemiske stabilitet, reagerer slet ikke med disse kemiske stoffer. Uanset hvor mange år den bruges, kan den opretholde sin strukturelle integritet og kontinuerligt sikre højpræcisionsskæring.

Fra materialetalent til ultrapræcisionsbehandling har granitbasen med sin styrke vist, at ikke alle materialer kan klare de barske udfordringer ved halvlederproduktion. Det er netop på grund af disse uerstattelige naturlige fordele, at granitbaser er blevet nøglen til waferskæreudstyr for at opnå en gentagelsespositioneringsnøjagtighed på ±5 µm, og har yderligere drevet halvlederindustrien til kontinuerligt at bevæge sig mod højere præcision!

præcisionsgranit14


Udsendelsestidspunkt: 14. maj 2025